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基于 FPGA 的微角步距压电电动机驱动及 闭环控制系统研究 (本课题由高等学校科技创新工程重大项目培育资金项目(708023) 天津市应用基础与前沿技术研究计划基金资助项目 (10JCYBJC06600/09JCYBJC05200)) Research on micro-angle step piezoelectric motor drive and closed-loop control system based on FPGA 学科专业：仪器科学与技术 研 究 生：马婷婷 指导教师：赵美蓉 教授 天津大学精密仪器与光电子工程学院 2012 年 12 月 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的 研究成果，除了文中特别加以标注和致谢之处外，论文中不包含其他人已经发表 或撰写过的研究成果，也不包含为获得 天津大学 或其他教育机构的学位或证 书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中 作了明确的说明并表示了谢意。 学位论文作者签名： 签字日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解 天津大学 有关保留、使用学位论文的规定。 特授权 天津大学 可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检 索，并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编以供查阅和借阅。同意学校 向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘。 （保密的学位论文在解密后适用本授权说明） 学位论文作者签名： 导师签名： 签字日期： 年 月 日 签字日期： 年 月 日 摘要 摘要 中文摘要 随着科学技术的发展，在精密测量、纳米科学仪器、精密加工装配、半导体 装备和生物细胞操纵等众多精密技术领域，迫切需要驱动及控制系统具备高分辨 力、高精度、高稳定性、重复定位精度高等性能。微位移驱动定位及控制技术的 发展，也为微小尺寸零件的超精密加工提供必要的技术基础。 设计了基于尺蠖运动机理的微角步距压电电动机，采用现场可编程门阵列 FPGA (Field programmable gate array)作为驱动控制核心，经薄膜键盘设定产生方 波信号的参数，方波和经过积分电路转化的三角波信号一起作为初始控制信号。 经压电陶瓷驱动电源放大后加载到电动机上。利用 ModelSim 仿真系统模拟初始 控制信号，结果显示输出的四路方波信号频率、电压、步数均稳定。 系统选择 RESM 型圆光栅检测电动机转过的角度，并通过数字差分式处理 信号，采集的角度信号送入 FPGA 的闭环控制模块。设计基于增量式 PID 控制 算法，通过比较角度的理想值与实际值之间的误差，调节比例系数、积分系数和 微分系数改变控制信号的电压值减小误差。Modelsim 仿真结果表明，误差值逐 次减小，仿真实时性也能达到电动机控制的要求。 控制系统测试结果表明：系统的驱动信号频率增大时相应的输出角度随之减 小，驱动电压增大时输出角度增大；闭环控制能够将系统误差调节在较小范围内； 系统角度检测分辨率为 0.11″，最小、最大步距实验中分别为在 100V、40Hz 和 160V、20Hz 下测得最小、大步距角度为 12.57″和 40.02″，且两者的重复定位 精度优于 97%，误差较小；非线性度为 1.38%，说明控制系统具有较好的线性运 动性。闭环控制提高了电动机的输出位移精度和稳定性，降低了定位误差、增强 了可靠性。微角步距压电电动机可实现 360°全圆周旋转且定位精度稳定。 关键词：微角步距；压电电动机；FPGA；ModelSim 仿真；增量式 PID ABSTRACT With the development of technology and science, the drive and control system with the property of high-resolution, high-precision, high stability and high repeat positioning precision performance is extremely needy in the areas such as precision measurement, nano science instruments, precision processing and assembly, semiconductor equipment and biological cell manipulation Also the development in positioning and control of micro-displacement drive technology has provided the basic t