对高聚物微流控芯片上集成化气动微阀的研制.pdfVIP

2012年 第31卷 第8期 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 137 高聚物微流控芯片上集成化气动微 阀的研制 黄山石，胡贤巧，何巧红，陈恒武 (浙江大学 微分析系统研究所，浙江 杭州 310058) 摘 要：报道了一种新型的聚甲基丙烯酸甲酯 (PMMA)／聚二甲基硅氧烷 (PDMS)复合芯片。该芯片采用 PMMA—PDMS…PDMS—PMMA的四层构型，以在芯片上集成气动微阀。具有液路和控制通道网路的PMMA 基片与PDMS弹性膜间采用不可逆封接，分别形成液路半芯片和控制半芯片，而2个半芯片则依靠 PDMS 膜问的粘性实现可逆封接，组成带有微阀的全芯片。这种制备方法解决了制备 PMMA—PDMS—PMMA三层 结构芯片的封接难题，封接过程简单可靠。其控制部分和液路部分可以单独更换，可进一步降低使用成 本 ，尤其适合一次性应用场合。初步实验表明：该微阀具有 良好的开关性能和耐用性。 关键词：气动微阀；微流控芯片；聚甲基丙烯酸甲酯 ；聚二甲基硅氧烷 中图分类号：TP271 文献标识码 ：A 文章编号：1000-9787(2012)08-0137-04 Reasearch andfabrication 0fintegratedpneumatic ‘ ’ ● · 一 ‘ 1 ‘ ’ ‘ ：l： m icroValVeS ln polym er m icroHuidic cIlip HUANGShan—shi，HUXian—qiao，HEQiao—hong，CHENHeng—WU (InstituteofMicroanalyticalSystems，ZhejiangUniversity，Hangzhou310058，China) Abstract：Anovelpolymethyhnethacrylate(PMMA)／polydimethylsiloxane(PDMS)hybridpolymermicrofluidic chipisreported．The chip has4一layerstructureofPMMA—PDMS···PDMS—PMMA to integratethe pneumatic microvalves．ThefluidPMMA substrateandcontrolPMMA substrateareirreversiblybondedtoanelasticPDMS membranetorespectivelyform thefluidhalfchip andcontrolhalfchip．Relyingontheadheringpropertyofthe PDMSmembranes，thefluidandcontrolhalvesarereversiblybondedtoofrm acompletechipwithmicrovalves． ThismethodsolvesthebondingproblemsoccurredinfabricatingPMMA-P·DMS-·PMMA 3-layermicrofluidicchip andthe bondingprocessissimple and reliable．Thecontrolhalfand fluid halfareallowed to be replaced individually，SOtheoperationcostcanbefurtherreduced，whichmakesthismicrofluidicchipespeciallysuitablefor disposableuse．Thepreliminaryexperimentresultsshow thatthemicrovalvehasexcellentswitch