高纯氨气制取方法.pdfVIP

氨气纯化系统装置 1 1 11、前言 作为一种重要的特种气体，高纯氨广泛地应用于电子、化工、冶金、钢铁等工业方面的研 究和生产中。在电子工业中，高纯氨是不可缺少的原材料之一。它主要用于集成电路制造、 【 】 1 太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器和光导纤维等领域 。其中主要应用于半导体集 成电路的生产制造。 2 2、国内外状况 22 目前全球气体行业整合后仅剩下四大工业气体企业，分别是林德集团（L inde）、液化空 气集团（A ir L iquide）、空气化工产品有限公司（APC I）、普莱克斯（Praxair），这些企 业不仅在商贸还在吸引投资方面展开直接竞争，这使得全球4大气体企业占据了世界市场 【 】 2 75%左右的份额 。除了这四大气体公司，还有英国氧气公司(BOC)、梅塞尔集团（Messer）、 日本大阳日酸(Taiyo N ippon Sanso)、日本昭和电工(SDK)、日本住友化学(Sumitomo) 等气体公司，在过去的10年中，Messer 和BOC 已分别被AirLiquide 和Linde 收购了，美 【 】 3 国Solktronic Chemicals 公司以及美国光谱公司被APC I 公司收购了 ，这些公司市场上 都有高纯氨的生产和销售。 为满足全球半导体行业的需要，空气化工产品有限（APCI）公司在宾夕法尼亚州Hometown 电子专用气体制造联合企业中投资数百万美元建一座新的超高纯氨蒸馏装置。该装置生产出 量较大的超高纯氨（以白氨为商标）,它的纯度在99.99996%（6.6）以上，目标纯度为 99.99999+%（7.0+）,以满足半导体以及如300毫米半导体和纯屏显示器之类其它增长中的市 场和纯度的预测值。重点是加强已确立的服务以及在北美、欧洲、中国和中国台湾、韩国及 日本的不少增长中的终端用途市场，如发光二极管，激光和激光二极管，光电二极管，高功 率半导体晶体管以及集成电路中的新客户。 我国对氨净化、分析等的研究起步于80年代，当时为满足我国微电子工业的需要，光明化 工研究设计院、北京氧气厂先后开展了电子级高纯氨的研究与生产，目前大连利德也有电子 级高纯氨的销售。但长期以来国内高纯氨主要还是依靠进口，并且是瓶装的。 日前，巨化股份参股的浙江衢州巨化昭和电子化学材料有限公司于2009年6月建成500吨／ 年的高纯氨生产装置，产品全部销往昭和电工的各分、子公司。 该公司由日本昭和电工株式会社、巨化股份、浙江晋巨化工有限公司共同发起设立。 我从事气体净化行业十多年，已积累了相当丰富的实践经验，客户遍及全国各地和海外 市场。通过自主研发，氨气指标 序号 检验项目 单位 测试结果 3 1 处理氨气能力 Nm/h 42 2 出口压力 Mpa 0.2 3 氧含量 ppm 0.9 4 产品气露点 ℃ -70 5 H2 ppm 1 6 CO ppm 0.8 7 N2 ppm