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高纯氨的大规模生产
孙福楠
(化学工业部光明化工研究设计院, 大连116031)
详细介绍了大规模生产高纯氨的工业方 , 采用吸附-精馏提纯工艺是生产高
质量高纯氨切实可行的方 。
氨 吸附 精馏
1 前 言
(VLSI) ,
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2 生产工艺的确定
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( 500nm) CH N O
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( 2000 2000 600800 50200 300600
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44 半导体技术 1998 年2 月第23 卷第1期
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[3]
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