生长在硅油基底表面铁薄膜系统的没微结构特性研究-凝聚态物理专业毕业论文.docx

Author’s Author’s signature： 一 bupervlsor’s signature： External Reviewers： Examining Committee Chairperson： Examining Comm Date oforal defence： 2Q!鱼生鱼旦§旦 万方数据 浙江大学研究生学位论文独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的 浙江大学研究生学位论文独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的 研究成果。除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发 表或撰写过的研究成果，也不包含为获得堑望盘鲎或其他教育机构的学位或 证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文 中作了明确的说明并表示谢意。 学位敝作者签名蜘f 签字嗍 如／6年 6月1 R 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解 逝姿盘鲎 有权保留并向国家有关部门或机 构送交本论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权逝垄盘堂可 以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索和传播，可以采用影印、 缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。 (保密的学位论文在解密后适用本授权书) 学位论文作者签名苏坷 导师签名： 枷猫 签字同期：如f＆年6月印同 签字日期：列厶年6月刁自 万方数据 知识产权保护声明本人郑重声明：我所提交答辩的学位论文，是本人在导师指导 知识产权保护声明 本人郑重声明：我所提交答辩的学位论文，是本人在导师指导 下完成的成果，该成果属于浙江大学理学院物理学系，受国家知识 产权法保护。在学期间与毕业后以任何形式公开发表论文或申请专 利，均需由导师作为通讯联系人，未经导师的书面许可，本人不得 以任何方式，以任何其它单位作全部和局部署名公布学位论文成果。 本人完全意识到本声明的法律责任由本人承担。 学位论文作者签名靠奸 日期： ≥。／(7年 6月 力]日 万方数据 浙江大学硕士学位论文 浙江大学硕士学位论文 致谢 致谢 时光荏苒，我来到浙大已经两年时间，回想第一天来浙大报道的日子，仿佛 就在昨天。这两年里浙大教给我很多，不光是学术科研方面的知识，也有很多关 于人生的思考。 首先，我要感谢我的导师杨波老师，杨老师在生活上关心我，学术上一直对 我悉心教导，让我对于科研有了更深入的认识。这一次的论文写作过程中，杨老 师对于论文内容严格把关，逐字逐句斟酌，一直耐心的指导我，给我提出很多宝 贵的建议，才使得我能够顺利完成论文的写作。 感谢叶高翔老师，叶老师为人师表、学识渊博、为人谦和、关心学生，这些 品质一直影响着我，是我学习的榜样。我还要感谢陶向明老师在我做实验和写论 文期间对我提出的指导和建议。 感谢潘启发、马瑞瑞、程毅、卢晨曦、王剑锋、金英等实验室师兄弟姐妹对 我一直以来的支持和帮助。 感谢我的室友们和肖琼同学对我学习以及生活上的帮助和关心，让我的研究 生生活更加温暖。 最后感谢一路走来一直支持我的家人，感谢一直陪伴我成长的朋友们! 黄娜 二零一六年五月于浙江大学 万方数据 浙江大学硕士学位论文 浙江大学硕士学位论文 摘要 摘要 本文采用真空热蒸发方法，在硅油基底表面制备一系列铁薄膜样品，并利用 透射电子显微镜(TEM)和分光光度计系统地研究了=fJ-州八13速率厂以及基底温度瓦对 于铁薄膜的微结构、结晶性能及光学特性的影响，得到主要结论如下： (1)利用TEM对采用相同沉积厚度(5．0 nm)和基底温度(疋=-10．0。C) 以及不同沉积速率制备的铁薄膜系统的微观结构及结晶性进行了研究。实验结果 表明：当沉积速率厂=0．01nm／s时，Fe薄膜样品呈现无定形结构；当沉积速率增 大到／=0．05nm／s时，可在无定形结构中观察到少量小尺寸晶粒；随着沉积速率 进一步的增大，晶粒数密度逐渐增加且晶粒尺寸逐步增大，结晶度进一步增强。 我们认为，这一现象主要与沉积原子的扩散能力以及液相基底对沉积原子的独特 作用密切相关。 (2)对沉积速率系列样品的光学特性研究发现：当沉积速率厂=0．01nm／s时， 样品对可见光的平均透光率高于95％，几乎为全透明薄膜；样品的平均透光率随 沉积速率的增大而逐渐降低，当沉积速率厂=0．45nm／s时，样品对可见光的平均 透光率低于60％，呈现灰黑色。我们认为薄膜的颜色与其微结构特性及结晶性 能有关。 (3)对采用相同沉积厚度(5．0nm)和沉积速率(厂=0．20nm／s)以及不同基底 温度制备的铁薄膜系统进行TEM观察发现：当基底温度瓦=10．0。C时，薄膜为 无定形结构；当基底温度低于瓦=0。C时，薄膜呈现多晶结构，并且随着基底温 度的降低晶粒数密度逐渐增加，晶粒