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本章主要内容 1、概述 2、电子光学基础 3、电子与固体物质的相互作用 2.1 概 述 电子显微分析是利用聚焦电子束与试样物质相互作用产生的各种物理信号，分析试样物质的微区形貌、晶体结构和化学组成。 2.1 概 述 电子显微分析是材料科学的重要分析方法之一，与其它的形貌、结构和化学组成分析方法相比具有以下特点： ◆ 在极高放大倍率下直接观察试样的形貌、晶体结构和化学成分。 ◆为一种微区分析方法，具有很高的分辨率，成像分辨率达到0.2～0.3nm（TEM），可直接分辨原子，能进行纳米尺度的晶体结构及化学组成分析。 ◆各种仪器日益向多功能、综合性方向发展。 2.2 电子光学基础 电子光学是研究带电粒子（电子、离子）在电场和磁场中运动，特别是在电场和磁场中偏转、聚焦和成像规律的一门科学。它与几何光学有很多相似之处： （1）几何光学是利用透镜使光线聚焦成像，而电子光学则利用电、磁场使电子束聚焦成像，电、磁场起着透镜的作用。 （2）几何光学中，利用旋转对称面作为折射面，而电子光学系统中，是利用旋转对称的电、磁场产生的等位面作为折射面。因此涉及的电子光学主要是研究电子在旋转对称电、磁场中的运动规律。 2.色差 玻璃透镜对不同波长的光具有不同的焦距，磁透镜对不同能量的电子也有不同的会聚能力，这正是引起色差的原因。如图所示 其效果与球差相似，在轴向距离范围内也存在一个最小的色差弥散圆斑，半径为 rC： Cc为透镜的色差系数，随激励磁电流增大而减小。 引起能量变化的主要原因为： 电子加速电压不稳定，引起照明电子束能量的波动。 电子与物质相互作用后，电子能量受到损失。 2.2 电子光学基础 2.2.4电磁透镜的像差和理论分辨本领 2.2 电子光学基础 2.2.4电磁透镜的像差和理论分辨本领 像散 像散是由于透镜磁场不是理想的旋转对称磁场而引起的像差。主要是生产工艺、透镜污染，使透镜磁场不完全旋转对称，而只是近似的双对称场。这样产生在透镜的XZ、YZ两个对称面方向的焦距不同，使物像不能聚焦，形成弥散的椭圆斑，最小的弥散圆斑半径为rA：如图所示 由于这种像散发生在轴上，因此也称为轴上像散。像散将影响电镜的分辨能力，一般电镜中都有消像散器，可以把像散校正到容许的程度。 2.2 电子光学基础 2.2.4电磁透镜的像差和理论分辨本领 2.2 电子光学基础 2.2.4电磁透镜的像差和理论分辨本领 4.电磁透镜的分辨本领 是电磁透镜的最重要的性能指标，它受衍射效应、球差、色差和像散等因素的影响。电磁透镜的理论分辨本领为： 式中A为常数，电磁透镜的理论分辨本领为0.2nm左右。 2.2 电子光学基础 2.2.4电磁透镜的像差和理论分辨本领 JEOL电镜的分辨率为： 电镜具有场深大、焦深长的特点。 所谓场深是指在不影响透镜成像分辨率的前提下，物平面可沿透镜移动的距离。如图所示: 当r=1nm，α=10-3-10-2 rad时，Df约为200-2000nm，对于加速电压为100kV的电子显微镜，样品厚度一般控制在200nm以下，在透镜场深范围内，试样各部位都能聚焦成像。 2.2 电子光学基础 2.2.5电磁透镜的场深和焦深 * * 第二章 电子光学基础 包括： 用透射电子显微镜进行的透射电子显微分析 用扫描电子显微镜进行的扫描电子显微分析 用电子探针仪进行的X射线显微分析 日本电子公司生产的 JEM-2010 飞利浦公司生产的TECNAI-20 2.1.1 电子显微镜发展简史 ?1924年L. De和Broglie发现运动电子具有波粒二象性。 ? 1926年Busch发现在轴对称的电磁场中运动的电子有会聚现象。 ?二者结合导致研制电子显微镜的伟大设想。 ? 1931年，第一台电镜在德国柏林诞生。至1934年电镜的分辨率可达50nm，1939年德国西门子公司第一台电镜投放市场，分辨率优于10nm。 ? 1935年克诺尔（Knoll）提出扫描电镜的工作原理，1938年阿登纳（Ardenne）制造了第一台扫描电镜。 ? 60年代后，电镜开始向高电压、高分辨率发展，100-200kV的电镜逐渐普及，1960年，法国研制了第一台1MV的电镜，1970年又研制出3MV的电镜。 ? 70年代后，电镜的点分辨率达0.23nm ，晶格（线）分辨率达0.1 nm。同时扫描电镜有了较大的发展，普及程度逐渐超过了透射电镜。 ?近一、二十年，出现了联合透射、扫描，并带有分析附件的分析电镜。电镜控制的计算机化和制样设备的日趋完善，使电镜成为一种既观察图象又测结构，既有显微图象又有各种谱线分析的多功能