矿物材料现代测试技术4电子利显微镜3.pptVIP

武汉理工大学资环学院 管俊芳 第三部分 电子显微分析 第四章 电子显微镜的主要图象 1 二次电子产额及二次电子像 (1) 1 二次电子产额及二次电子像 (2) 1 二次电子产额及二次电子像 (3) 1 二次电子产额及二次电子像 (4) 1 二次电子产额及二次电子像 (5) 1 二次电子产额及二次电子像 (6) 1 二次电子产额及二次电子像 (7) 1 二次电子产额及二次电子像 (8) 1 二次电子产额及二次电子像 (9) 1 二次电子产额及二次电子像 (10) 1 二次电子产额及二次电子像 (11) 1 二次电子产额及二次电子像 (12) 1 二次电子产额及二次电子像 (13) 1 二次电子产额及二次电子像 (14) 1 二次电子产额及二次电子像 (15) 1 二次电子产额及二次电子像 (16) 1 二次电子产额及二次电子像 (17) 1 二次电子产额及二次电子像 (18) 1 二次电子产额及二次电子像 (19) 2 背散射电子像 (1) 2 背散射电子像 (2) 2 背散射电子像 (3) 2 背散射电子像 (4) 2 背散射电子像 (5) 2 背散射电子像 (6) 3 吸收电子像 (1) 3 吸收电子像 (2) 4 X射线成分像 (1) 5 俄歇电子像 (1) 5 俄歇电子像 (2) 6 透射电子像(1) 6 透射电子像 (2) 6 透射电子像 (3) 6 透射电子像 (4) 6 透射电子像 (5) 6 透射电子像 (6) 黑白像片的彩色化 作 业 电子显微分析 第四章 电子显微镜的主要图象 二次电子像的优点： （1） 分辨率高,最高可达60A； （2） 放大倍数灵活，几十到10万可调 （3） 景深大，是光学显微镜的几百倍，所以 立体感强 （4） 反差对比度好，图象细节清楚 （5） 可以与成分分布状态结合观察（后述） 电子显微分析 第四章 电子显微镜的主要图象 背散射电子信号随原子序数Z的增大而明显地增多，因此其图像可以反映物质的成分信息。 用专门的背散射信号探测装置（可检测的电子能量较高），可以探测背散射电子信息。 形成图象的过程与二次电子相似。 电子显微分析 第四章 电子显微镜的主要图象 样品中原子序数较高的区域，由于可收集到的电子数量较多，故显示荧光屏上的图像较亮。因此，利用原子序数造成的衬度变化可以对样品中的元素进行定性分析。样品中重元素区域在图像上是亮区，而轻元素在图像上是暗区。 此处的定性分析无法定出元素的种类，只能知道元素的相对原子序数大小。 电子显微分析 第四章 电子显微镜的主要图象 背散射信号也可以反映一些形貌信息，但其分辨率远比二次电子低。因为背反射电子时来自一个较大的作用体积。 此外，背反射电子能量较高，它们以直线轨迹逸出样品表面，对于背向检测器的样品表面，因检测器无法收集到背反射电子而变成一片阴影，因此其图像上很多的形貌信息无法反映出来。 电子显微分析 第四章 电子显微镜的主要图象 由于背散射电子离开样品表面后沿着直线运动，检测到的背反射电子信号远比二次电子信号弱，所以粗糙表面的原子序数衬度往往会被形貌衬度所掩盖。为了避免形貌衬度对原子衬度的干扰，被分析的样品必须进行抛光处理。 电子显微分析 第四章 电子显微镜的主要图象 (左) 二次电子像 (右)背散射电子像 电子显微分析 第四章 电子显微镜的主要图象 (左) 二次电子像 (右)背散射电子像 电子显微分析 第四章 电子显微镜的主要图象 吸收电子也是对样品中原子序数敏感的一种物理信号。 由入射电子束于样品的相互作用可知： iI =iB+iA+iT+iS 当样品厚度足够大时，透射电子电流为零，这时iI =iB+iA +iS 。由于二次电子信号与原子序数基本无关，则吸收电子电流为：iA = (iI -C) – iB， 因此可以认为：吸收电流与背散射电流存在互补关系。 电子显微分析 第四章 电子显微镜的主要图象 (左) 背散射电子像 (右)吸收电子像 电子显微分析 第四章 电子显微镜的主要图象 利用测定X射线的专门装置（波谱仪或者能谱仪），只收集在电子束的照射下，某一种或者几种元素产生的特征X射线，亦可以得到某一种或几种元素在平面上的分布情况。 成像原理与前述的二次电子、背散射电子等相似。 电子显微分析 第四章 电子显微镜的主要图象 亦可探测俄歇电子信号（根据其特征的能量），获得俄歇电子图