飞秒激光在光敏玻璃上制作微凹面＊.PDF

第 38卷第 7期 光 子 学 报 V0lI38No．7 2009年 7月 ACTA PHoToN ICA SINICA July2009 飞秒激光在光敏玻璃上制作微凹面* 巫殷忠 ，王清月 ，贾威。，胡明列 ，柴路 (1中国工程物理研究院激光聚变研究 中心，四川 绵 阳 621900) (2天津大学 精密仪器与光 电子工程学院超快激光实验室；光电信息技术科学教育部重点实验室，天津 300072) 摘 要 ：利用聚焦的飞秒激光 (中心波长 775nm、脉 宽 150fs)照射 FOTURAN光敏玻璃 ，经热处 理及浓度为8 的氢氟酸溶液室温腐蚀 50min后 ，在 FOTURAN玻璃表面制作 了微 凹面．利用原 子力显微镜和扫描电子显微镜分析 了微凹面的形貌 ，发现它具有光滑璧面和清晰边缘 ，直径约为几 十微米．通过分别改变入射激光的单脉冲能量 (970~3250nJ)和脉冲数 目(10～3ooo个)，研究 了 它们对微凹面制作结果的影响，发现 了微 凹面的直径随激光入射参量的饱和效应，并解释 了其原 因；指 出了飞秒激光在 FOTURAN上制作微结构的应用． 关键词 ：飞秒激光 ；微 凹面 ；微细加工 ；FOTURAN玻璃 ；光敏玻璃 中图分类号 ：TN249 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004—4213(2009)07—1597—5 0 引言 所需的微结构． 飞秒激光由于具有极窄的脉宽和极高的峰值功 FOTURAN玻璃是德 国 肖特玻璃公司 (Schott 率 (可达百太瓦甚至更高)．当聚焦在透明材料上时 ， GlassCorp．)提供 的一种光敏可刻蚀玻璃 ，它是掺 通过多光子吸收等非线性光学效应 ，激光焦斑 的细 杂了微量金属元素银 (Ag)、铈 (Ce)等的锂铝一硅酸 小区域内将发生物理改性 (如产生折射率改变或产 盐玻璃．由于具有 良好的光学透明度、高硬度及化学 生微爆炸形成微腔等)，由此可实现高准确度的三维 和热稳 定性 ，它成 为制作 微光学 、微机 电系 统 微细加工 ]．飞秒激光与透明材料作用的这种特点 (MEMS)及微流体等微细结构 的良好衬底材料．在 与紫外激光的线性吸收情形不 同，因而人们开始尝 FOTURAN上制作微细结构 的传统方法是利用 试利用飞秒激光替代紫外激光 ，用于在透明材料上 290~330nm波段的紫外灯作为光源 ，透过掩模板 制作微结构．Kondo等利用波长为 400Dm 的飞秒 照射这种玻璃，经热处理和氢氟酸 (HF)腐蚀后得 激光在一种掺微量银和铈的光敏玻璃上演示了微细 到l】]．Helvajian等 则 利 用 紫 外 (UV)激 光 在 小孔的加工_g；Cheng等人利用近红外飞秒激光作 FOTURAN表面制作 了微卫星微推动器等微机械 为人射光源，在 FOTuRAN玻璃上演示 了很多微 器件 ]．一般认为 ，利用紫外光照射这种含银 、铈 的 流体和微光学结构 的制作 ”]． 光敏玻璃制作微结构 ，其光化学反应机理可 以解释 目前，对于飞秒激光入射参量对制作结果影响 为 ：三价铈离子 (Ce抖)在受到紫外光 照射后将释放 的研究仍然有限．本文通过改变飞秒激光 的入射参 一 个电子变成 四价铈离子 (Ce )，而银离子 (Ag ) 量 (包含单脉冲能量和脉冲数)，在 FOTURAN玻 得到这个 电子后被还原为银原子 (Ag)．在随后的热 璃表面制作了微 凹面并探讨了激光参量对制作结果 处理过程中，当样 品被加热至 500℃左右并恒温保 的影响． 持一定时问后 ，这些银原子在光