压阻式对压力传感器.pptVIP

 压力单位换算表 表3-1 压力单位换算表 ? 牛顿/米2 公斤/.厘米2 毫米水银柱 毫米水柱 磅/英寸2 标准大气压 1牛顿/米2(帕斯卡) 1.0 1.019710-5 7.500610-3 0.1020 1.450410-4 9.869210-6 1公斤/.厘米2(工程大气压) 9.8067104 1.0 7.3556102 1.0104 14.22 0.9678 1毫米水银柱(mmHg) 1.3332102 1.359510-3 1.0 13.59 1.93410-2 1.31610-3 1毫米水柱(mmH2O) 9.8064 1.010-4 7.355610-2 1.0 1.42210-3 9.67810-5 1磅/英寸2(psi) 6.8947103 7.030710-2 51.715 7.0307102 1.0 6.80510-2 1标准大气压(atm) 1.0133105 1.0332 7.60102 1.0332104 14.696 1.0 牛顿/米2 公斤/厘米2 毫米水银柱 毫米水柱 磅/英寸2 标准大气压 1牛顿/米2(帕斯卡) 1.0 1.0197?10-5 7.5006 ? 10-3 0.1020 1.4504 ? 10-4 9.8692 ? 10-6 1公斤/.厘米2(工程大气压) 9.8067 ? 104 1.0 7.3556 ? 102 1.0 ? 104 14.22 0.9678 1毫米水银柱(mmHg) 1.3332 ? 102 1.3595 ? 10-3 1.0 13.59 1.934 ? 10-2 1.316 ? 10-3 1毫米水柱(mmH2O) 9.8064 1.0 ? 10-4 7.3556 ? 10-2 1.0 1.422 ? 10-3 9.678 ? 10-5 1磅/英寸2(psi) 6.8947 ? 103 7.0307 ? 10-2 51.715 7.0307 ? 102 1.0 6.805 ? 10-2 1标准大气压(atm) 1.0133 ? 105 1.0332 7.60 ? 102 1.0332 ? 104 14.696 1.0 （一）压力的概念 大气压力：地球表面的空气柱重量所产生的压力 绝对压力：p=pH+pB，是气体所处空间的全部压力 表压力： pB= p-pH，高于大气压的绝对压力与大 气压力之差。 一、应变式压力传感器 （二）种类 测量压力的传感器可分为： 1、绝对压力传感器 2、相对压力传感器（表压） 3、差压传感器 （三）应变式压力传感器 应变片粘贴在 测量压力的弹性元件表面（即感压膜片）。 弹性敏感元件为周边固定圆形金属平膜片。膜片受压力变形时，中心处径向应变和切向应变均达到正的最大值，而边缘处径向应变达到负的最大值，切向应变为零。因此常把两个应变片分别贴在正负最大应变处，并接成相邻桥臂的半桥电路以获得较大灵敏度和温度补偿作用。 应变式压力传感器主要用于测量管道内部压力、内燃机燃气的压力和喷射力、发动机和导弹试验中脉动压力以及各种领域中的流体压力。 膜片式压力传感器的最新产品是将弹性敏感元件和应变片的作用集于单晶硅膜片一身，即采用集成电路工艺在单晶硅膜片上扩散制作电阻条，并采用周边固定结构制成的固态压力传感器（即压阻式传感器）。 压力传感器二、 压阻式压力传感器 压阻效应：硅、锗等半导体材料受外力作用时，其电阻率发生变化的现象。压阻效应的强弱用压阻系数?来表示。 R4 R3 R1 R2 输入 输出 p 结构和原理： 压阻式压力传感器：利用压阻效应测量压力的传感器。 压力传感器 压阻式压力传感器 电阻阻值变化与所受应力的关系： 恒压源： 恒流源： 压力传感器 压阻式压力传感器 特点 优点：灵敏度高、无迟滞、频响高、输出电平高、精度高、耐振及耐冲击性能好、功耗小、寿命长、设计及使用方便、可以小型化。 缺点：零位温度漂移和灵敏度温度漂移。 压阻式固态压力传感器  利用扩散工艺制作的四个半导体应变电阻处于同一硅片上，工艺一致性好，灵敏度相等，漂移抵消，迟滞、蠕变非常小，动态响应快。 压阻式固态压力传感器的隔离、承压膜片 隔离、承压膜片可以将腐蚀性的气体、液体与硅膜片 隔离开来。 压阻式固态 压力传感器 内部结构 信号处理电路 p 小型压阻式固态压力传感器 高压进气口 低压进气口 小型压阻式固态差压传感器 可用于呼吸、透