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高分辨率傅里叶变换透镜
第 卷 第 期 光学 精密工程
15 9
Vol.15 No.9
O ticsandPrecisionEnineerin
年 月 p g g
2007 9 Se.2007
p
文章编号 ( )
1004924X200709131705
高分辨率傅里叶变换透镜
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12 12 1 1
张 雷 ,钟 兴 ,金 光 ,贾继强
( 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 ;
1. 130033
2.中国科学院 研究生院,北京 100039)
摘要:在研究傅里叶变换透镜理论的基础上,根据某微粒子观测实验的要求和几何光学像差理论,得出了高分辨率傅里
叶透镜的初始参数,分析了系统的消像差方法,并应用 ZEMAX软件设计了满足要求的工作波长为 532nm的傅里叶变
换透镜。在光机结构设计中,为减少外界环境对成像质量的影响,在频谱面处设计了光阑和低真空腔。工程分析和实验
结果表明,抽真空引起的光学间距变化对该系统的成像质量基本没有影响,用 目视显微镜法检测系统的分辨率为
。该系统可以保持 的低真空( 以下),并且已成功应用于某微粒子观测实验。
2.81 m 12h 100Pa
μ
关 键 词:傅里叶变换透镜;光学设计;光机结构
中图分类号: 文献标识码:
TH703 A
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