柔性微流体电子材料工艺与器件-中国材料进展.PDF

第３５卷　 第２期 中国材料进展 Ｖｏｌ３５　 Ｎｏ２ 　 ２０１６年２月 ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ ＣＨＩＮＡ Ｆｅｂ２０１６ 柔性微流体电子： 材料、 工艺与器件 尹周平， 吴志刚， 黄永安 （华中科技大学 数字制造装备与技术国家重点实验室 柔性电子研究中心， 湖北 武汉４３００７４） 摘　 要：微流体技术是指在微观尺寸下控制、 操作和检测复杂流体的新兴技术， 通过与柔性电子技术结合， 产生了全新的柔 性微流体电子技术， 有望在可变形电极、 可穿戴电子、 可延展柔性天线等领域发挥重要作用。 目前， 液态金属由于其常温液 态、 大表面张力等特点， 应用于柔性微流体电子技术领域时， 在材料、 工艺和设备等方面面临诸多挑战。 重点讨论液态金属 的组分和属性、 微流体制造工艺与特点， 以及柔性微流体电子技术的新兴应用。 最后展望了柔性微流体电子技术需研究并解 决的关键科学技术问题。 关键词：柔性电子； 液态金属； 微流体； 无线传感器； 液体天线 － － － 中图分类号： ＴＮ０５　 　 文献标识码： Ａ　 　 文章编号： １６７４ ３９６２（２０１６）０２ ０１０８ １０ Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｍｉｃｒｏｆｌｕｉｄｉｃ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ：Ｍａｔｅｒｉａｌｓ， Ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ ａｎｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ ＹＩＮ Ｚｈｏｕｐｉｎｇ，ＷＵ Ｚｈｉｇａｎｇ，ＨＵＡＮＧ Ｙｏｎｇａｎ （Ｓｔａｔｅ Ｋｅｙ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｙ ｏｆ Ｄｉｇｉｔａｌ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｃｅｎｔｅｒ， Ｈｕａｚｈｏｎｇ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｗｕｈａｎ４３００７４，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｍｉｃｒｏｆｌｕｉｄｉｃ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ｉｓ ａｎ ｅｍｅｒｇｉｎｇ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ｏｆ ｃｏｎｔｒｏｌｌｉｎｇ，ｏｐｅｒａｔｉｎｇ ａｎｄ ｄｅｔｅｃｔｉｎｇ ｃｏｍｐｌｅｘ ｆｌｕｉｄ ｕｎｄｅｒ ｍｉｃｒｏｓｃａｌｅ． Ｗｉｔｈ ｔｈｅ ｃｏｍｂｉｎａｔｉｏｎ ｏｆ ｆｌｅｘｉｂｌｅ ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ａ ｎｅｗ ｆｌｅｘｉｂｌｅ ｍｉｃｒｏｆｌｕｉｄｉｃ ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ｉｓ ｄｅ⁃ ｖｅｌｏｐｅｄ，ｗｈｉｃｈ ｉｓ ｅｘｐｅｃｔｅｄ ｔｏ ｐｌａｙ ａｎ ｉｍｐｏｒｔａｎｔ ｒｏｌｅ ｉｎ ｔｈｅ ｆｉｅｌｄｓ ｏｆ ｄｅｆｏｒｍａｂｌｅ ｅｌｅｃｔｒｏｄｅｓ，ｗｅａｒａｂｌｅ ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，ｆｌｅｘｉｂｌｅ ａｎｔｅｎｎａｓ ａｎｄ ｏｔｈｅｒｓ． Ａｔ ｐｒｅｓｅｎｔ，ｔｈｅｌｉｑｕｉｄｍｅｔａｌｕｓｅｄｉｎｍｉｃｒｏｆｌｕｉｄｉｃｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ｄｕｅｔｏｉｔｓｌｉｑｕｉｄｓｔａｔｅａｔｒｏｏｍ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ａｎｄ ｌａｒｇｅ ｓｕｒｆａｃｅ ｔｅｎｓｉｏｎ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ，ｆａｃｅｓ ｍａｎｙ ｃｈａｌｌｅｎｇｅｓ ｉｎ ｔｈｅ ｍａｔｅｒｉａｌ，ｐｒｏｃｅｓｓ ａｎｄ ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ． Ｔｈｉｓ ｐａｐｅｒ ｆｏｃｕｓｅｓ ｏｎ ｔｈｅ ｃｏｎｆｉｇｕｒａｔｉｏｎ ａｎｄ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ ｌｉｑｕｉｄ ｍｅｔａｌ，ｔｈｅｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ ａｎｄ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ ｏｆ ｍｉｃｒｏｆｌｕ⁃ ｉｄｉｃ ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，ａｎｄ ｔｈｅ ａｄｖａｎｃｅｄ ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ ｏｆ ｆｌｅｘｉｂｌｅ ｍｉｃｒｏｆｌｕｉ