基于压电叠堆的微动扫描平台控制器研制-集成电路工程专业论文.docxVIP

优秀毕业论文 精品参考文献资料 大连理工大学学位论文独创性声明作者郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下进行研究工 大连理工大学学位论文独创性声明 作者郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下进行研究工 作所取得的成果。尽我所知，除文中已经注明引用内容和致谢的地方外，本 论文不包含其他个人或集体已经发表的研究成果，也不包含其他已申请学 位或其他用途使用过的成果。与我一同工作的同志对本研究所做的贡献均 已在论文中做了明确的说明并表示了谢意。 若有不实之处，本人愿意承担相关法律责任。 学位论文题目： 拇即矗地自§锨徜：il植平厶控制冀石前钿 作者签名： 弓长欠寸售 万方数据 大连理工大学专业学位硕士学位论文摘 大连理工大学专业学位硕士学位论文 摘 要 近些年来，精密技术在科学研究、工业生产以及人们的生活中起到了越来越重要的 作用，因此对精密定位控制技术的研究非常必要。 本文所设计的控制器作为精密仪器的一部分，结合技术指标与时序控制要求，在分 析了压电叠堆执行器以及微动扫描器的结构特性及其工作原理的基础上，对微动扫描器 采用了一种差动驱动方法，设计了满足技术指标与时序控制要求的控制器开发方案，并 按照参数指标要求实现了控制器硬件与软件的平台搭建。 首先进行微动扫描平台控制器的硬件设计。由于仪器特定的尺寸限制，需将控制器 的尺寸限制在91mmx 125mm的范围内，因此应以尺寸小、高集成度为设计原则。本文 将控制器分为以MSP430F169单片机为主芯片的主控模块、以集成高压放大芯片 PA79DK为核心的驱动信号放大模块和以电阻应变片作为传感器的位移反馈模块，并对 各个模块进行硬件设计，最终实现了微动扫描平台控制器的搭建。 然后根据时序控制要求进行了软件设计。通过嵌入式C语言编程使单片机能够产生 方波与恒压驱动信号。在软件程序设计中采用了模块化的设计方法，将整体功能划分为 时钟模块、内部DAC输出模块、外部DAC输出模块、ADC采样模块及控制算法模块， 并对各个模块进行程序设计。同时进行了偏差处理PID控制算法的仿真，得到了合适的 PID参数，实现了对微动扫描器输出位移的准确控制。 最后对控制器进行了性能测试与优化。通过控制器联合测试，解决了硬件本身存在 的问题。采用了在电路中串联电阻查看瞬时电流变化的方法进行电流测量，得到控制器 正电源的实际输出功率为2．92W，并给出了DC—DC电源的优化建议。同时，测量了单 通道峰值电流为25。2mA。通过程序的改进，使方波上升段毛刺电压降低76．2％。采用电 涡流位移计测量微动扫描器输出位移，得到在PID控制算法下加入509载荷量的控制误 差为O．51am。通过对控制器的需求指标参数的测试及优化，验证了所设计的微动扫描控 制器的性能符合设计需求，同时说明控制方案的合理性。 关键词：微动扫描器；压电叠堆；高压放大；微位移控制；MSP430 万方数据 基于压电叠堆的微动扫描平台控制器研制Research 基于压电叠堆的微动扫描平台控制器研制 Research on Controller for Micro Scanning Platform Based on Piezoelectric Stack Ab stract In recent years，precision engineering has played an increasingly important role in scientific research，industrial production and people’S life．Studying the precision technology is very important． A controller of this article as a part of a precision instrument，combined with technology index and timing requirements，has been designed to suit the controller development program， meeting technology index and timing control requirements，after analyzing the piezoelectric stack actuator and micro scanner’S characteristics of the structure and working principle．And also implements the design of hardware and software in accordance with the para