超声辅助抛光过程中流体性能仿真分析.pdf

第４９卷　 第７期 哈　 尔　 滨　 工　 业　 大　 学　 学　 报 Ｖｏｌ４９ Ｎｏ７ 　 　 ２０ １７年７月 ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＨＡＲＢＩＮ ＩＮＳＴＩＴＵＴＥ ＯＦ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ Ｊｕｌ． ２０１７ ＤＯＩ：１０．１１９１８／ ｊ．ｉｓｓｎ．０３６７⁃６２３４．２０１６０７０４６ 　 　 　 　 　 　 超声辅助抛光过程中流体性能仿真分析 翟文杰，孙丙镇 （哈尔滨工业大学 机电工程学院，哈尔滨 １５００９０） 摘　 要：为探究超声辅助抛光过程中流体特性对抛光性能的影响，分析超声辅助对试件表面材料去除率的影响机理，分别对 光滑及多孔抛光垫建立不同膜厚尺度下超声振动抛光过程的ＦＬＵＥＮＴ 仿真模型，分析不同变量对流体的压力分布、速度分