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脉冲高能量密度等离子体法制备TiN薄膜及其摩擦磨损性能
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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脉冲高能量密度等离子体法制备!# 薄膜
及其摩擦磨损性能研究!
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刘元富 张谷令 王久丽 刘赤子 杨思泽
（中国科学院物理研究所，北京 ###$# ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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利用脉冲高能量密度等离子体技术在室温条件下在 号钢基材上制备出了超硬耐磨 薄膜 利用 ，
(’ )*+ , -./
， ， 等手段分析了薄膜的成分及显微组织结构，并测试了薄膜的硬度分布及摩擦磨损性能 结果表明：薄
-01 231 134 ,
膜主要组成相为 ，薄膜组织致密、均匀，与基材之间存在较宽的混合界面；薄膜硬度高，在干滑动磨损实验条件
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下具有优异的耐磨性及较低的摩擦系数,
关键词：脉冲高能量密度等离子体， 膜，显微组织，耐磨性
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［ ］
一些阶段性成果% 本文利用 技术在 号
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D 引 言 钢基材表面制备出了表面光滑、组织致密、均匀的以
)*+ 为主要组成相的表面改性层，分析了薄膜的成
)*+ 为面心立方结构，具有硬度高、耐磨性好、 分及显微组织结构，测试了薄膜的纳米硬度分布，在
摩擦系数低、耐蚀性优异、化学稳定性好等一系列性 室温干滑动磨损试验条件下测试了薄膜的摩擦磨损
能优点，因此， 超硬耐磨薄膜被广泛用作刀具、 性能
)*+ ,
［— ］
冷作及热作模具的表面改性层 ’ , 从已有文献报
道来看， 薄膜的制备手段大多数集中于物理气
)*+ % D 实验方法
相沉积（ ）工艺 工艺固然存在着工艺过程
0E/ , 0E/
简便、工作温度低
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