第15讲磁场题与成分参数检测.ppt

第7章　磁场与成分参数检测 生物医学工程学院 卢广文 gwlu@ 本章内容 §7.1　磁敏传感器 磁敏传感器是基于磁电转换原理的传感器。 早在1856年和1879年就发现了磁阻效应和霍尔效应，实用的磁敏传感器产生于半导体材料发现之后。60年代初，西门子公司研制出第一个实用的磁敏元件；1966年出现了铁磁性薄膜磁阻元件；1968年索尼公司研制成性能优良、灵敏度高的磁敏二极管；1974年美国韦冈德发明了双稳态磁性元件。目前上述磁敏元件已得到广泛的应用。 磁敏传感器主要有磁敏电阻、磁敏二极管、磁敏三极管、磁敏晶体管和霍尔式磁敏传感器。 7.1.1　磁敏电阻 一、磁阻效应 将一载流导体置于外磁场中，除了产生霍尔效应外，其电阻也会随磁场而变化，这种现象称为磁电阻效应，简称磁阻效应。磁敏电阻器就是利用磁阻效应制成的一种磁敏元件。 当温度恒定时，在弱磁场范围内，磁阻与磁感应强度B的平方成正比。对于只有电子参与导电的最简单的情况，理论推出磁阻效应的表达式为 二、磁敏电阻 2、结构 3、特性 7.1.2　磁敏二极管 一、磁敏二极管 1、结构 5、应用 7.1.3　磁敏三极管 §7.3　气体成分检测 7.3.1　热导式气体分析仪 7.3.2　热磁式气体分析仪 7.3.3　红外线气体分析仪 7.3.1　热导式气体分析仪 导热系数 对于不同的介质，导热系数的大小是不同的。 固体和液体的导热系数较大，气体的导热系数较小。 气体的导热系数通常与温度有关。当温度升高时，分子运动加剧，导热系数随之增大。导热系数与温度的关系可近似写成 混合气体的导热系数 由所含组分气体的导热系数共同决定的。对于彼此之间无相互作用的多组分气体，其导热系数可近似地认为是各组分导热系数按组成含量的加权平均值，即 严格地讲，热导式气体成分分析仪只能解决双组分气体的含量分析，此具体形式为： （1）除待分析的组分外，其余组分的导热系数相等或接近，即接近的程度越高，仪器的测量精度越高。若个别气体的值与其它背景气体的值相差较远时，则被视为干扰成分，在分析之前要去掉。 （2）待分析组分与其余组分的导热系数相差很大，以保证仪器有较高的灵敏度。 1. 热导池的工作原理 新型热导式分析仪 3. 热导池的结构 （2）电阻丝的结构及支撑方法 测量电路 被测气体浓度的变化，经过热导池检测器变成了电阻丝阻值的变化，阻值的变化可采用电桥来进行测量。 实际常用的测量电路有两种： (1) 直流单桥测量线路 (2) 交流双桥测量线路 (1) 直流单桥测量线路 (2) 交流双桥测量线路 7.3.2　热磁式气体分析仪 一、热磁式氧气分析仪 二、氧化锆式氧量分析仪 在固体电解质中，作为载流子传导电流的，主要是离子。二氧化锆（ZrO2）在高温下(但尚远未达到熔融的温度)具有氧离子传导性。 纯净的二氧化锆在常温下属于单斜晶系，随着温度的升高，发生相转变。在1100℃下，为正方晶系，2500℃下，为立方晶系，2700℃下熔融，在熔融二氧化锆中添加氧化钙、三氧化二钇、氧化镁等杂质后，成为稳定的正方晶型，具有莹石结构，称为稳定化二氧化锆。并且由于杂质的加入，在二氧化锆晶格中产生氧空位，其浓度随杂质的种类和添加量而改变，其离子电导性也随杂质的种类和数量而变化。 7.3.3　红外线气体分析仪 红外线气体分析器属于光学分析仪表中的一种。它是利用不同气体对不同波长的红外线具有选择性吸收的特性来进行分析的。 这类仪表的特点是测量范围宽、灵敏度高、能分析的气体体积分数可到10-6(ppm级)；反应速度快、选择性好。 红外线气体分析器常用于连续分析混合气体中 CO、CO2、CH4、NH3等气体的浓度。 §7.4　气敏传感器 7.4.1　半导体气敏传感器 7.4.2　红外吸收式气敏传感器 7.4.3　薄膜气敏传感器 7.4.1　半导体气敏传感器 1970年，荷兰科学家Bergveld研制出了对氢离子响应的离子敏感场效应晶体管，标志着离子敏半导体传感器的诞生。半导体传感器以其易于实现集成化，微型化、灵敏度高等诸多优点 。 所谓半导体气敏传感器，是利用半导体气敏元件同气体接触，造成半导体性质变化，借此来检测特定气体的成分或者测量其浓度的传感器的总称。 表7.4.1　半导体气体传感器的分类 一、基本结构 §7.5　湿度和含水量的检测 精密仪器、半导体集成电路与元器件制造场所，气象预报、医疗卫生、食品加工等行业都有广泛的应用。 湿度传感器依据使用材料分类： 电解质型：以氯化锂为例，它在绝缘基板上制作一对电极，涂上氯化锂盐胶膜。氯化锂极易潮解，并产生离子导电，随湿度升高而电阻减小。 陶瓷型：一般以金属氧化物为原料，通过陶瓷工艺，制成一种多孔陶瓷。利用多孔陶瓷的阻值对空气中水蒸气的敏感特性而制成。 高分子型：先在玻璃等绝缘基板上蒸发