RENA培训讲解课件.ppt

可对各化学药品槽手动添加化学品 Trend界面 温度曲线给我们提供了直观的参考数据，便于我们发现槽体温度传感器及chiller的问题 还可以对ACD风刀流速，温度进行对比，发现问题 扩散过程中，虽然采用背靠背扩散，硅片的边缘将不可避免地扩散上磷。PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路。此短路通道等效于降低并联电阻。 同时，由于在扩散过程中氧的通入，在硅片表面形成一层二氧化硅，在高温下POCl3与O2形成的P2O5，部分P原子进入Si取代部分晶格上的Si原子形成n型半导体，部分则留在了SiO2中形成PSG。