现代分析技术在薄膜材料研究中的应用-中国工具信息网.PDFVIP

12 工 具 技 术 现代分析技术在薄膜材料研究中的应用 ， 1 2 2 2 2 2 2 晋 勇 赵海波 田 良 曲 敏 胡希川 王玉环 1 2 四川大学 成都工具研究所 摘 要：介绍了几种现代分析仪器和技术的特点及其在薄膜材料研究中的应用情况。指出要充分了解各种分 析技术的特点并加以综合运用，才能实现对薄膜材料更深入、更全面的认识。 关键词：薄膜材料， 研究， 现代分析技术 Applications of Modern Analytical Techniques in Thin Film Material Investigations Jin yong Zhao Haibo Tian Liang et al ： Abstract The features of some modern analytical techniques and their applications in thin film material investigations are in- troduced . It is suggested that the better understanding of the surface of materials cannot be realized unless a thorough understanding of the features of various modern analytical techniques and a combined use of these modern analytical techniques are reached . ： ， ， Keywords thin film material investigations modern analytical techniques 状况，并研究其与薄膜的性能、处理工艺之间的关 1 引言 系，是提高工艺水平、保证薄膜层质量的重要途径。 表面工程是在传统表面技术的基础上，综合应 近年来，表面和界面的电子显微分析技术的长足发 用材料科学、冶金学、机械学、电子学、物理学、化学、 展，为研究薄膜材料的微观状态提供了众多的分析 摩擦学等学科的原理、方法及最新成就发展起来的 测试手段，本文简要地讨论几种表面分析技术的特 ［ ］ 一门新兴学科 1 ～ 4 。表面工程通过研究材料表面与 点及其在薄膜材料成分、形貌和晶体结构研究中的 界面的特征、性能、改性过程和相应方法，利用各种 应用，供薄膜材料研究工作者参考。 物理、化学或机械的工艺过程改变基材表面状态、化 2 薄膜材料的成分分析 学成分、组织结构或形成特殊的表面覆层，优化材料 表面，以获得原基材表面所不具备的某些性能，达到 由于下述原因，在一般情况下很难采用化学分 特定使用条件对产品表面性能的要求，获得高装饰 析的方法实现对薄膜材料成分的分析。 薄膜材料 ① 性、耐腐蚀、抗高温氧化、减摩、耐磨、抗疲劳性及光、 的质量很小，取样很困难； 化学分析法得到的结果