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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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长波长大应变!#$%’ !#$%( 分布反馈激光
器的材料生长与器件制备!
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潘教青 赵 谦 朱洪亮 赵玲娟 丁 颖 王宝军 周 帆 王鲁峰 王 圩
（中国科学院半导体研究所 光电子研究发展中心，北京 ###$% ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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采用低压金属有机化合物气相沉积法（ ）生长并制作了 — 大应变 分布反馈
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激光器 采用应变缓冲层技术，得到质量良好的大应变 体材料 器件采用了 个大应变的量子阱，加入了
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载流子阻挡层改善器件的温度特性 122 4 和13= 4 未镀膜的% 4 脊型波导器件阈值电流低（小于 ’49 ），输出
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功率高（ 时大于 ）从 — ， 激光器的特征温度 ，和 分布反馈激光
##49 =4 # =#? 13= 4 !# @ ’3A 1’’ 4 56789:*
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器的特征温度相当
关键词： ， ，应变量子阱，分布反馈激光器
,-./0 56789:; 56789:*
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(%)) =’’* 3$#B
器件的制作工艺上还是器件的可靠性方面都有较成
1 引 言 熟的研究和实用成果 研究发现，这些近红外发光二
极管的发射波长与很多环境及工业气体的复合吸收
气体分子光吸收谱就像人类的指纹，它是气体 谱线相一致 鉴于此，可以用近红外发光二极管作为
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