化工品技术融合实例-昭和电工.PDF

化工品 技术融合实例-1 （气体产品） 电子材料用气体·溶剂 氟化工制品 SOLFINETM 电子材料用高纯度气体 高纯度化 纯碱电解 电气分解 表面处理 氯气 高耐腐蚀电镀 氢气 特种气体 产业气体 塑料回收 产品 Clean-STM处理 再利用 ECOANNTM 无机材料 结构控制 高温处理 混合 ・ 超临界二氧化碳 分散化 特种气体除害设备 昭和电工气体产品 8 电子材料用气体・溶剂 ～最尖端半导体用～ 产品化实例 技术储备 高纯度化气体 ・溶剂应用于最尖端半导体制 高纯度化技术通过“蒸留／抽出／过滤”三个 造工艺，FPD生产工艺等电子产业。 步骤，制造出半导体用的高纯度气体。 为了确认产品的品质，  容器内面处理 ・洗浄技术  高感度分析技术 LC, GC, ICP-MS  工厂设备建设 量产技术 等 我们拥有这些技术。 高纯度溶剂充填工厂设备 高感度分析装置 ICP-MS 9 氟化工制品 ~电子材料用高纯度气体~ 产品化实例 技术储备 氟化合物在等离子体中分解，与硅等半导体材 氟是一种易于与所有元素结合的原子，利用该特性， 料反应可转变为气态物质。 可以将氟应用于各种产品当中。 利用该特性，在半导体制造工艺中，可用在干 法蚀刻、清洁附着于反应炉上的垃圾的干洗作  氟合成技术 2HF → F ＋ H 2 2 业上。  氟化合物合成技术(气相)  氟化合物合成技术(液相)  高感度分析技术 LC, GC, ICP-MS