微摩擦测试仪力传感器的研究-光学精密工程.PDF

第 10卷 　第4 期 光学 　精密工程 Vol . 10 　No . 4 　　　　　　　　 　　　　　　　　　 2 0 0 2 年 8 月 Optics and Precision Engineering Aug . 　2 0 0 2 ( ) 文章编号 　1004924X 2002 微摩擦测试仪力传感器的研究 黎海文 ,贾宏光 ,吴一辉 ,李 　锋 ( 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 , 吉林 长春 130022) 摘要 :讨论了微尺度构件的摩擦力测试问题 。Bhushan 和 Koinkar 分别对硅材料的宏观摩擦系数和纳米 摩擦系数进行了对比实验 ,实验表明纳米摩擦系数远远低于宏观摩擦系数 。而在微机械构件中 ,零件的 大小一般为微米级 ,甚至更大 ,接触面积也较大 。载荷介于宏观和微观之间 ,有时会大于 nN 范围 , 因此 其摩擦特殊 ,有可能不完全等同于宏观摩擦和纳米摩擦 ,因此需进一步研究 。但现有的微摩擦测试仪器 不管是载荷还是测量范围都是基于纳米量级 , 因此需要一种用于研究微机械样品间摩擦的专用仪器 。 本文主要对这种微摩擦测试仪中关键技术之一力传感器进行了研究 。由于普通传感器在测量精度较高 时 ,分辨率 、灵敏度等均较低 ,不能满足系统的要求 。针对普通传感器的不足 ,本文采用微机械工艺加工 微力传感器的办法 。这是由于微机械工艺采用的技术多是半导体工业的硅表面工艺和体硅加工工艺 , 因此这种传感器可以大批量制造 ,且具有低成本 、高精度 、低驱动 、高可靠性 、低功耗 、占用空间小 、重量 轻和响应速度快等优点 。最后对力传感器的性能进行了分析 。 关 　键 　词 :M EM S ;微摩擦测试 ;力传感器 ;结构设计 中图分类号 : TP2 12 　　文献标识码 :A ( ) 由公式 1 可得摩擦系数与接触面积和载荷 1 　引　言 无关的结论显然不符合微观摩擦规律 。但是已有 ( 的微摩擦测试仪 包括摩擦力显微镜 FFM ,横向 ( ) ) 　　微光机电系统 M EM S 的出现 ,说明微电子 力显微镜 L FM 等 都是基于纳米量级的测量范 技术已经渗透到机械 、光学等多个传统领域 ,使系 围 ,其探针和被测样品的接触面积是原子间的接 统集成和批量化生产成为可能 , 同时也提出了许 触 ,而在微机械构件中 ,零件的大小一般为微米 多新的问题 。摩擦问题对于所有运动机构来说都 级 ,甚至更大 ,接触面积也较大 , 因此需要一种适 是不可回避的。传统的摩擦学理论在微系统中是 用于微机械样品间摩擦力测试的专用仪器 。本文 否适用需要进一步去考察[67 ] 。 就该仪器中的关键部件力传感器的工作原理 、结 1993 年 Bhushan 和 Koinkar 分别采用球 - 盘 构及其性能进行了初步的探讨 。 摩擦实验机和摩擦力显微镜 FFM 对硅材料的宏 2 　微力传感器的工作原理与结构设 观摩擦系数和微观摩擦系数进行了对比实验 ,实