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开心“镀”过每一天 用心“膜”索每一罩 ～谢谢～ 镀膜相关知识培训 任凯平 2012.5.24 内容提纲 概述 真空系统 蒸发系统 控制系统 辅助系统 镀制工艺参数对薄膜性能的影响 概述 镀膜就是在称之谓基底的某种材料上镀制上一层或多层具有其它材料特性的膜。 镀膜可以起到的作用： ⑴.优化表面性能； ⑵.进行微细加工； ⑶.产生新的功能特性。 光学薄膜在光学系统中的作用： 提高光学效率、减少杂光。如高效减反射膜、高反射膜。 实现光束的调整或再分配。如分束膜、分色膜、偏振分光膜就是根据不同需要进行能量再分配的光学元件。 通过波长的选择性透过提高系统信噪比。如窄带及带通滤光片、 长波通、短波通滤光片。 实现某些特定功能。如ITO透明导电膜、保护膜等 光学薄膜制备工艺 基片 基片的种类： 玻璃、陶瓷 金属 晶体 塑料 基片的清洗： 洗涤剂、化学药品、超声波清洗、离子轰击、烘烤清洗、蒸汽清洗、紫外线和臭氧等清洗方法 成膜工艺 化学方法 物理方法 化学气相沉积 电镀 电解 阳极氧化 等等 真空蒸镀 离子镀 溅射 分子束外延 等等 高真空镀膜机 真空系统 蒸发系统 控制系统 辅助系统 APS1104 真空系统 1.一些定义 真空：低于一个大气压的空间叫真空。其 中，气压大于10-1 Pa的称低真空，介于10-6 Pa与10-1 Pa之间的称高真空，小于10-6Pa的称超高真空。 泵与规：获得真空的设备称为真空泵； 测量真空的器件称为真空规。 2.真空度的表示 1Pa=1N/m2 1Torr=133.3Pa 1(atm)标准大气压=760Torr 1mmHg=1orr 初真空 低真空 高真空 超高真空 真空度Pa 103 103-10-1 10-1-10-6 10-6 平均自由程（cm) 10-4 10-4-5 5-105 105 气流特点 1.以气体分子间的碰撞为主 2.粘滞流 过渡区域 1.以气体分子与器壁的碰撞为主 2.分子流 平均吸 附时间 气体分子以空间飞行为主 以吸附停留为主 3.机械泵 外形 （旋片式） 原理 注意事项 泵油：润滑、密封。 少－－漏气； 多－－喷油。 应经常观察油面线。 4.扩散泵 外形 原理 注意事项 ①.泵油在加热时易氧化变质：要预抽真空后才可开始 加热；油未充分冷却时不可放入大气。 ②.泵油会污染真空系统：油温不够高时不可打开顶阀（要有足够的预热时间）；要用足够好的冷阱。 机械泵 罗茨泵 扩散泵 真空系统 真空泵的抽气速率 罗茨泵 （增压泵） 外形 原理 5.? 热偶规 在高真空状态下，气体对热导的贡献几乎为零，因而气压与热偶温度没有关系：热偶规不能测高真空。 不同气体的热传导率不同：热偶规所测的气压与气体种类有关。 灯丝、热电偶及管壳内壁都易受油污染而改变其表面热性质：热电偶常需定标。 A－－加热丝 B－－热电偶 1－－指示加热电 流的毫安表 2－－指示真空度 的毫伏表 6.?电离规 C－－收集极（－） A－－加速极（＋） F－－灯丝 mA－－指示电子流Ie 的毫安表 (一般Ie=5mA） mA－－指示离子流Ii 的微安表 在10－2帕到10－6帕，Ii 正比于气压：此即测量范围。高于10－2帕时，灯丝易氧化：不能测低真空；低于10－6帕时，光电流太大：不能测超高真空。 7.镀膜真空系统 阀门1：机械泵放气 阀门2：机械泵抽镀膜室 阀门3：机械泵预抽扩散泵 阀门4：扩散泵抽镀膜室 阀门5：镀膜室放气 各阀门的作用 蒸发系统 热蒸发 溅射 离子镀 离子辅助蒸发 1.热蒸发 电阻蒸发，电子枪蒸发，激光蒸发。 2.溅射 磁控溅射 高频溅射，磁控溅射，反应溅射。 提高离化率、溅射速率，降低基片温度。 3.离子镀 离子镀技术是在热蒸发技术和溅射技术结合的基础上发展起来的新工艺，1963年首先应用于人造卫星的金属滑膜。 特点： 膜层附着力强 密度高 均匀性好 沉积速度快、 应用： 高硬度刀具 耐磨固体润滑膜 4.离子辅助蒸发 牢固度和硬度、耐潮湿本领下降、光的散射和吸收损失加大导致耐激光损伤能力下降，折射率随外界环境发生变化 柱状结构 薄膜与大块材料不同呈多孔的柱状结构