《JC179-81-QSG1、QSG2透明石英玻璃钳锅》.pdfVIP

中华人民共和国建筑材料工业部 t r十·十一 卜‘月卜一呻 .叫卜，叫卜一 卜·气 + + JC179一81 - t 部 标 准 十 + . + . 1 + + 代替 1C179-73 QSG1.QSG2透明石英玻璃增塌 又 州卜一叫卜向叫卜.‘辛 ·叫卜闷~卜，分卜.小.材 本标准适用于半导体工业拉制单晶用的透明石英玻璃柑坍。 半导体用透明石英玻璃增坍有QSG1高纯透明石英玻瑞增坍与QSG2透明石英玻瑞增飒两种。 、技 术 要 求 1.物理、化学性能指标 (1)化学成分 a.QSG1高纯透明石英玻璃琳涡 铝、钙、镁、铁、铜、铁、钻、镍、锰、翻、钾、钠、锉十三个杂质元素的总含1t不得大于0-001%. 其中:铝簇5X10-4写; 铜成0.1X10-`写; 铁(0.5X10-,%; 翻簇0.1X10-1%; 钾簇1X10-`%; 钠成1X10-`写。 b.QSG2透明石英玻璃琳端 铝、钙、镁、钦、铜、铁、钻、镍、锰、翻、钾、钠、锉十三个杂质元素的总含f不得大于。.Ol0ao 其中:铝续60X10-,%; 铜O.1X10-4写; 铁 《5X10-写; 翻O.3X10-,%; 钾镇4X10-0%; 钠簇4X10-,%. (2)热稳定性 试样在1100℃至20C温度急变下试验三次，不产生裂纹。 (3)抗析晶性 试样在 1200C温度下恒温半小时，对于高纯透明石英玻瑞柑坍不允许出现直径大于0.5毫米的析 晶白点;对于透明石英玻瑞柑飒不允许出现直径大于3毫米的析晶白点，0.5~3毫米的析晶白点，每 100平方厘米不得超过10个。 2.外观指标 (1)两种增竭均按外观指标分为二级(见表 1). 中华人民共和国建筑材料工业部 发布 1981年 3月 1日 实施 建 筑 材 料 科 学 研 究 院 提出 趁筑材料科学研究院 起草 do 179一81 表 1 外 观 指 标 项 目