纳米氧化锡气敏材料及其传感器阵列的研究进展-中国科技论文在线.PDFVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 一 纳米氧化锡气敏材料及 其传感器阵列 的研 究进展 龚树 萍, 刘 欢, 周 东祥 华 中科技 大 学 电子科 学与技 术 系敏 感 陶 瓷教 育部 工程 研 究 中心 , 武汉 摘 要 对纳米氧化锡气敏材料 的理论及 应用研究进行 了综合性阐述 , 重 点介绍了运用纳米技 术和薄膜技术制备氧化锡气体传感器的研究进 展 , 并讨论 了氧化锡气体传感 阵列在电子鼻智能 嗅觉系统中的应用现状和 前景 关 桩 词 纳米氧化锡 气体传感器 薄膜 阵列 电子 鼻 中图分类号 文献标识码 引言 、 作为最早实现 商 品化 的气体传感器 , 氧化锡 气敏器 件有着灵 敏度 高 响应速 度 、 快 成本低廉等优异性能 , 迄今依然 占据着气体传感器 市场的主流地 位 它 广泛 用 于 可燃 、 、 , 性气体如 天 然气 主 成分为 液化石 油气 主成分为 和 。 和 等气体 的检测 随着人 们生活水平 的提高和 对 环 境污染 间题的 日益重视 , 气体传 、 、 、 、 、 感器 的检测对 象 已扩展到