《薄膜技术的发展》-毕业论文（设计）.doc

PAGE PAGE 11 本科毕业论文 论文题目：薄膜技术的发展 学生姓名：杨云芝 学号：200600930098 专业：应用物理学 指导教师：姜守振 学 院：物理与电子科学学院 1 2010年 5 月 10 日 目录 摘要…………………………………………………………. Abstract…………………………………………………… 薄膜技术发展史…………………………. 薄膜技术………………………………………… 2.1 薄膜与薄膜技术……………………………………… 2.2镀膜方法……………………………………………….. 2.3薄膜的形成………………………………………….. 第四章 总结与展望…………………………………… 3.1 现代薄膜技术的应用………………………………… 3.2 未来薄膜技术的市场与预测………………………… 致谢 参考书目 摘要：随着科学技术的发展，薄膜已经越来越多地在科研、生产和生活中出现，尽管它只是极薄的一层膜，却威力极大，神通无比。功能膜有很多种，有的能识别物质，有的能导电、导光，有的具有反应性能，有的起分离作用等。本文从薄膜的发展历史出发，重点介绍了几种重要的薄膜制备方法并在其中介绍了各种镀膜方法所得的薄膜的一些特点。最后对薄膜的一些实际应用进行列举，对薄膜的未来进行了展望。希望能我们能加深对薄膜技术及其重要的认识与了解。 关键词：薄膜、薄膜技术、功能膜 Abstract: With the development of science and technology, the film has been increasingly in scientific research, production and life. although it is extremely thin layer of film, but a powerful magic and clinking. There are various functional membrane, some can identify material, some can conduct electricity, light, some have reaction performance, some on separate function and so on. From the historical development of the film, the paper introduces are some important film preparation methods and in which introduces various coating methods of some characteristics of the film. Finally, some practical applications of thin film on the list, the future is prospected. Hope we can deepen our understanding of the film technology and its important knowledge and understanding. Keywords: film, Film technology, Functional Film 第一章 薄膜技术发展史 19世纪 化学镀膜最早用于在光学元件表面制备保护膜，到19世纪真空镀膜已经有200多年的历史。但在19世纪却一直是处于探索和预研阶段。探索者的艰辛在此期间得到充分体现。1805年, 开始研究接触角与表面能的关系(Young)。1817年，Fraunhofe在德国用浓硫酸或硝酸侵蚀玻璃，偶然第一次获得减反射膜。1839年, 开始研究电弧蒸发(Hare)。1852年, 开始研究真空溅射镀膜(Grove;Pulker)。1857年, 在氮气中蒸发金属丝形成薄膜(Faraday;Conn)。 1874年, 报道制成等离子体聚合物(Dewilde;Thenard)。1877年,薄膜的真空溅射沉积研究成功(Wright)。1880年, 碳氢化合物气相热解(Sawyer;Mann)。1887年, 薄膜的真空蒸发(坩埚) (Nahrwold;Pohl;Pringsh