铁电厚膜溶胶凝胶法的制备与探讨-河北师范大学学报.PDF

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2019-01-19 发布于天津
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铁电厚膜溶胶凝胶法的制备与探讨-河北师范大学学报

30 2 ( ) Vol. 30 No. 2 2006 3 Journal of H b i Normal Univ rsit y ( Natural Sci nc Edition) Mar. 2006 铁电厚膜溶胶凝胶法的制备与探讨 1 1 1 1 2 3 1 程春生 , 张子生, 阎正 , 赵庆勋, 刘世普 , 刘丽华, 刘保亭 ( 1. , 071002; 2. , 071003; 3. , 071001) : , . , , . : ; ; : O 484 : A : 1000-5854( 2006) 02-0177-05 , ( M EM S) [ 1~ 4] [ 5] , . Xu ( rf-sputt ring) 350 [ 6] ~ 500 nm Ba Sr TiO ( BST) ; Han ( PLD) x 1- x 3 400 nm ( Pb La ) T i O ( PLT ) , ; Wu 0. 72 0.28 0.93 3 [7] ( M OCVD) 400 nm PbZr Ti O ( PZT ) . x 1- x 3 [ 8] ( sol-g l) 120 nm PZT ; PZT Ag/ PbZr T i O / x 1- x 3 [9] YBa Cu O ; , SrT iO / 2 3 7- D 3 [ 10] PZT ; PbZr0. 53T i0.47O3/ YBa2Cu3O7- D [ 11] [ 12] . , ; , , , , . ( PbZr T i O ) ( Pb La Zr Ti O ) [ 13] x 1- x 3 x 1- x y 1- y 3 ( Pb La T iO ) ( BaTiO ) [ 14] ( Ba Sr T iO ) [ 15, 16] x 1- x 3 3 x 1- x 3 ( Bi3. 9Pr0. 1Ti3O12) [ 17] . : [ 18~ 23] . , , ; , , , . , , , . 1 , 2 : ;