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第七章 电子衍射 山东科技大学材料学院 吴杰 第一节 概述 第二节 电子衍射原理 第三节 电子衍射花样的标定 第四节 复杂电子衍射花样 一、电子衍射和X射线衍射的共同点 电子衍射的原理和X射线衍射相似，是以满足（或基本满足）布拉格方程作为产生衍射的必要条件。 两种衍射技术得到的衍射花样在几何特征上也大致相似：多晶体的电子衍射花样是一系列不同半径的同心圆环，单晶衍射花样由排列得十分整齐的许多斑点所组成，而非晶体物质的衍射花样只有一个漫散的中心斑点。 NiFe多晶纳米薄膜的电子衍射 La3Cu2VO9晶体的电子衍射图 非晶态材料电子衍射图的特征 二、电子衍射和X射线衍射的不同点 电子波的波长比X射线短得多，在同样满足布拉格条件时，它的衍射角θ很小，约为10-2rad。而X射线产生衍射时，其衍射角最大可接近π/2。 电子波的波长短，采用埃瓦尔德图解时，反射球的半径很大，在衍射角θ较小的范围内反射球的球面可以近似地看成是一个平面，从而也可以认为电子衍射产生的衍射斑点大致分布在一个二维倒易截面内。这个结果使晶体产生的衍射花样能比较直观地反映晶体内各晶面的位向，给分析带来不少方便。 进行电子衍射时采用薄晶样品，倒易阵点会沿着样品厚度方向延伸成杆状，增加了倒易阵点和埃瓦尔德球相交的机会，结果使略微偏离布拉格条件的电子束也能发生衍射。 原子对电子的散射能力远高于它对X射线的散射能力（约高出四个数量级），故电子衍射束的强度较大，摄取衍射花样时曝光时间仅需数秒钟。 三、电子衍射不足之处 电子衍射强度有时几乎与透射束相当，以致两者产生交互作用，使电子衍射花样，特别是强度分析变得复杂，不能象X射线那样从测量衍射强度来广泛的测定结构。 散射强度高导致电子透射能力有限，要求试样薄，这就使试样制备工作较X射线复杂； 精度方面远比X射线低（θ角小）。 第二节 电子衍射原理 一、布拉格定律 二、晶带定理与零层倒易截面 三、偏离矢量与倒易阵点扩展 四、电子衍射基本公式 五、选区衍射 一、布拉格定律 X射线衍射原理：2dhklsinθ＝λ 对于给定的晶体样品，只有当入射波长足够短时，才能产生衍射。而对于电镜的照明光源——高能电子束来说，比X射线更容易满足。通常的透射电镜的加速电压100～200kv，即电子波的波长为10-2～10-3nm数量级；而常见晶体的晶面间距为100～10-1nm数量级，于是 电子衍射的衍射角总是非常小的，这是它的花样特征之所以区别X射线的主要原因。 二、晶带定理与零层倒易截面 在正点阵中，同时平行于某一晶向[uvw]的一组晶面构成一个晶带，而这一晶向称为这一晶带的晶带轴。?? 晶面（h1k1l1）（h2k2l2）（h3k3l3）的法向N1、N2、N3和倒易矢量 的方向相同；且各晶面面间距dh1k1l1，dh2k2l2，dh3k3l3的倒数分别和 的长度相等。 如果电子束沿晶带轴[uvw]的反向入射时，通过原点O*的倒易平面只有一个，我们把这个二维平面叫做零层倒易截面，用(uvw)0 *表示。 (uvw)0 *的法线正好和正空间中的[uvw]晶带轴重合。 晶带定理 晶带轴： 倒易矢量： 零层倒易截面上的各倒易矢量都和晶带轴r =[uvw]垂直， 则： 即： 称为（狭义）晶带定理。 根据晶带定理，只要通过电子衍射实验，测得零层倒易面上任意两个ghkl矢量，即可求出正空间内晶带轴指数[uvw]。 晶带轴和电子束照射的轴线重合，因此，可断定晶体样品和电子束之间的相对方位。 广义晶带定理： 倒易矢量与r不垂直。这时g的端点落在第非零层倒易截面上。 三、偏离矢量与倒易阵点扩展 布拉格定律把衍射方向、衍射面面间距和入射电子束波长三者联系起来，直观地描述了发生衍射的几何条件，是分析电子衍射图的基础。 从几何意义上来看，电子束方向与晶带轴重合时，零层倒易截面上除原点0*以外的各倒易阵点不可能与埃瓦尔德球相交，因此各晶面都不会产生衍射。 如果要使晶带中某一晶面（或几个晶面）产生衍射，必须把晶体倾斜，使晶带轴稍为偏离电子束的轴线方向，此时零层倒易截面上倒易阵点就有可能和埃瓦尔德球面相交，即产生衍射。  1、电子束波长很短； 2、稍偏离布拉格角时，衍射强度变弱，但不一定为0； 3、衍射晶体的形状（尺寸）效应。 1、电子束波长很短 电子束的波长很短，埃瓦尔德球的半径很大。 例如，100kV下，λ=0.037 ?,半径1/λ=27 ?-1；200kV下，λ=0. 025 nm,半径1/λ=40 ?-1；一般的晶面间距为2 ?, 则1/d=0.5?-1；则(1/λ)/(1/d)=54～80倍。