有序多孔氧化铝模板及ZnO沉积膜的制备与表征-NSFC.PDF

42 4 2013 8 表面技术 第 卷 第 期 年 月 Vol． 42 No． 4 Aug． 2013 SURFACE TECHNOLOGY 5 有序多孔氧化铝模板及ZnO 沉积膜的制备与表征 ， ， 李蕾 杨建文 杨正晓 ( ， 54 1006) 桂林理工大学 桂林 ［ ］ ( AAO) ， 、 摘 要 采用二次 阳极氧化法制备有序多孔氧化铝模板 探讨 了氧化时 间 磷酸溶液浸泡后处 理 。 AAO ZnO ， SEM ，XRD ，EDS ，AFM 对氧化铝表面形貌 的影响 以 为模板沉积 薄膜 通过 等技术对氧化铝模板及 ZnO ， ， 。 AAO ZnO 薄膜进行表征 结果表明 有序多孔层为非晶态氧化铝 研究了 以 为模板沉积 薄膜作光阳极 的染 ， 0 ． 34 % 。 料敏化太阳电池 的光电转换性能 得出其转换效率为 ［ ］ ; ; ZnO ; 关键词 多孔氧化铝 阳极氧化 薄膜 染料敏化太阳电池 ［ ］TG174 ． 451 ;TM914 ． 4 ［ ］A ［ ］100 1-3660 (20 13)04 -0005-04 中图分类号 文献标识码 文章编号 Preparation and Characterization of Ordered Porous Alumina Template and ZnO Film LI Lei ，YANG Jian-wen ，YANG Zheng -xiao (Guilin University of Technology ，Guilin 54 1006 ，China) ［Abstract］ The ordered porous anodic alumina oxide (AAO)templates were prepared by two-step anodic oxidation ，the influence of oxidation time and soaking in phosphoric acid solution on the surface of aluminum oxide was investigated． Then ， ZnO film was deposited on the templates of AAO ，characterized by means of SEM ，XRD ，EDS ，AFM ，results showed that the ordered porous layer was amorphous aluminum oxide． Besides ，the property of photoelectric conversio