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30 2 电 子 显 微 学 报 Vol. 30 ，No. 2
第 卷第 期
20 11 4 20 11-04
年 月 Journal of Chinese Electron Microscopy Society
文章编号:1000 -628 1 (20 11)02 -17 1-04
扫描电镜图像最优条件的选择研究
周广荣
( ， ， 200433)
聚合物分子工程教育部重点实验室 复旦大学高分子科学系 上海
: ， ， 。
摘 要 在扫描电镜成像过程中 影响图像质量的因素比较多 本文针对不同样品介绍了选择最佳条件的方法 例
、 、 ，
如样品室内气氛控制 图像参数的选择 检测器的选择以及控制温度的选择 尽可能将样品原来的面貌保存下来得
到高质量电镜照片。
: ; ; ;
关键词 扫描电子显微镜 气氛 检测器 温度
中图分类号:TN16 ;TG115. 2 1 + 5. 3 文献标识码:A
(SEM ) ， ，
扫描电子显微镜 通过探测样品原子外 现象的主要方法 可以提高图像质量 但往往产生假
( ( 1)。 1
层被电子束轰击时逃逸出来的电子 二次发射电子 象 见图 图 显示多孔状的生物制药样品经过
) ，
和背散射电子 和激发后跃迁的电子回迁时发出的 干燥处理后由于分子内部水分不能完全抽干 在进
， ， ，
光能 并将它们转换成图像 从而可在纳米尺度显示 行高真空镀膜后用电镜观察发现空隙全部消失 表
［1 ，2 ］
。SEM 。
样品的微观结构 已成为一种研究微观世 面变得光滑且褶皱 如果这个样品不经过高真空镀
， ， ，
界的有力工具 很多重大发现和研究成果都是通过 膜处理 而直接在低真空条件下拍摄 由于有少量的
SEM 。 ， SEM ，
观察获得 在实际进行仪器观察操作时 由于 空气进入 样品室 电子和气体分子间通过碰撞
， ， 。
扫描电镜是高精密仪器 结构复杂 且成像的影响因 产生正离子 这些正离子电流到达样品完全抵消了
［4 ］
素较多， ，
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