ndfeb磁体表面耐腐蚀薄膜的制备及性能研究材料学专业论文.docxVIP

合肥工业大学本论文经答辩委员会全体委员审查，确认符合合肥工业 合肥工业大学 本论文经答辩委员会全体委员审查，确认符合合肥工业 大学学历硕士学位论文质量要求。 答辩委员会签名(工作单位、职称、姓名) 主席： 中国科学院固体物理研究所，研究员 委员： 、I 乡 合肥工业大学， 教授 严l彳 合肥工业大学， 教授 合肥工业大学， 教授 △月巴工业大学， 副教授 2眵 导师：荐嗡掺 合肥工业大学，教授 万方数据 学位论文独创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行独立研究工作所 学位论文独创性声明 本人郑重声明：所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行独立研究工作所 取得的成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的内容外，论文中不包含 其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得 金g曼王些太堂 或其他 教育机构的学位或证书而使用过的材料。对本文成果做出贡献的个人和集体，本 人己在论文中作了明确的说明，并表示谢意。 学位论文中表达的观点纯属作者本人观点，与合肥工业大学无关。 学位论文作者签名：量很垮 签名日期： 历／‘年≯月2．o日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解金目曼王些太堂 有关保留、使用学位论文的规定， 即：除保密期内的涉密学位论文外，学校有权保存并向国家有关部门或机构送交 论文的复印件和电子光盘，允许论文被查阅或借阅。本人授权金目墨王些太堂可 以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库，允许采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 (保密的学位论文在解密后适用本授权书) 学位论文作者签名：黄傲琴 指导教师签名： 签名日期： 2,,16年Z月加日 签名日期： 匆，6年年月如日 论文作者毕业去向 工作单位： 联系电话： E—m i 1： 通讯地址： 邮政编码： 万方数据 致谢时光飞逝，硕士阶段的三年时间即将结束，在合肥工业大学里，我们留下了 致谢 时光飞逝，硕士阶段的三年时间即将结束，在合肥工业大学里，我们留下了 许多回忆，有和朋友之间的欢声笑语，也有在生活和学习中遇到瓶颈时的忧愁烦 恼，这些点滴使我们的研究生生涯变得丰富多彩。在这三年的研究生学习生涯中 遇到太多人的帮助，借此机会在此向他们表示诚挚的谢意。 首先，我要感谢我的导师李合琴教授，从论文的选题、实验到论文的撰写都 是在李老师的悉心指导下完成的。从硕士的学习、生活开始直至现在即将结束， 李老师不仅在学习上，实验中进行悉心的指导，在生活上给予帮助，更是在做人 做事方面给予教诲。李老师一丝不苟的作风、强烈的敬业精神、敏锐的洞察力都 深深的感染了我，是我以后努力学习和工作的典范，在这里向李合琴教授表示深 深的敬意和感谢。 其次，我还要特别感谢合肥工业大学分析测试中心的各位老师，在我的每一 次试样测试中对我的帮助与指导。本论文的完成也离不开各方面为我提供帮助的 老师：张勇老师，徐光青老师、郑玉春老师、汪冬梅老师、洪雨老师、张天赐老 师，翁洁老师、何顺荣老师，在这里，向各位老师表示最诚挚的感谢。愿各位老 师在以后的生活和工作上顺顺利利，越来越好。 同时，我还要感谢安徽大地熊新材料股份有限公司，感谢贵公司给予我的支 持，部分测试均在公司完成。 在此，我还要感谢我的师兄师姐：王伟、陶磊、乔凯、周矗、唐琼、张静， 同时感谢同窗好友左敏给予我的帮助，感谢师弟柏佩文、林志伟，师妹潘媛媛给 予的关心和支持。 感谢父母的养育之恩和教养之情，感谢家人的关怀和爱护，你们对我学习和 生活的支持是我前进的动力。 硕士毕业只是一段生活的结束，同时也是另外一段新生活的开始，祝福我自 己，也祝福所有人。 作者：黄依琴 2016年3月 万方数据 摘要通过磁控溅射方法在烧结钕铁硼磁体表面分别沉积SiC薄膜、SiC／A1双层膜、 摘要 通过磁控溅射方法在烧结钕铁硼磁体表面分别沉积SiC薄膜、SiC／A1双层膜、 SiC／A1N双层膜矛F](SiC／A1N)2多层膜。通过XRD、AFM、FESEM、电化学工作站 和超高矫顽力永磁脉冲测试仪对镀膜试样进行结构和性能的测试，同时研究沉积 不同薄膜的钕铁硼试样在酸、碱、盐溶液中的耐腐蚀性能。具体内容如下： 第一章概括了永磁体的种类，永磁材料钕铁硼的发展背景史、制备手段、结 构成分、烧结钕铁硼永磁材料的三种腐蚀原理以及如何提高抗腐蚀性能的方法。 综述了本课题的背景、主要内容和创新点。 第二章罗列了实验过程中所需要的材料和设备仪器，并对磁控溅射的工作原 理和薄膜的形成过程做了主要的介绍，同时还对各种表征测试仪器做了简单介绍： x射线衍射仪OCRD)、原子力显微镜(AFM)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、和 上海辰华电化学工作站等。 第三章研究在钕铁硼磁体表面沉积不同膜厚的SiC薄膜，利用FESEM对薄膜 的形貌和结构进行