bi6fe2ti3o18铁电薄膜溶液法制备及其性能研究物理学专业论文.docxVIP

中国科学技术大学学位论文原创性声明本人声明所呈交的学位论文，是本人在导师指导下进行研究工作所取得的成 中国科学技术大学学位论文原创性声明 本人声明所呈交的学位论文，是本人在导师指导下进行研究工作所取得的成 果。除已特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含任何他人已经发表或撰 写过的研究成果。与我一同工作的同志对本研究所做的贡献均已在论文中作了 明确的说明。 作者签名： 忸 中国科学技术大学学位论文授权使用声明 作为申请学位的条件之一，学位论文著作权拥有者授权中国科学技术大学 拥有学位论文的部分使用权，即：学校有权按有关规定向国家有关部门或机构 送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅，可以将学位论文编入 《中国学位论文全文数据库》等有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫 描等复制手段保存、汇编学位论义。本人提交的电子文档的内容和纸质论文的 内容相‘致。 保密的学位论文在解密后也遵守此规定。 、珊开口保密——年 作者签名： 绎重邋 导师签名： 签字日期：少，6．f_厂 万方数据 摘要摘要 摘要 摘要 层状铋基Aurivillius结构化合物具有丰富的物理化学性质，包括电学、磁 学、光学及催化等等。近年来发现较高类钙钛矿层数的Aurivillius结构化合物 (Bt202)2+(Btn一1Fe。一3Tt303。+1)2-(n≥4)可能是一种室温或室温以上的单 相多铁材料，在高密度存储、多态存储、传感、自旋电子器件等领域存在巨大 的潜在应用价值。目前高类钙钛矿层数(n≥4)的研究主要集中在其磁与介电 性能方面，铁电性能关注较少。然而铁电性能是Aurivillius结构化合物基本的 属性之一。并且作为一种潜在的室温多铁性材料，良好的铁电性能应是其多铁 性研究的基础，也是获得磁电耦合效应的支撑。此外，随着微电子、光电子器 件的发展，小型化、轻量化、集成化则需要有较高性能的薄膜材料。 本论文以n=5的Bi6Fe2Ti3018为研究对象，利用化学溶液沉积法制备薄 膜并对其铁电性质进行系统研究。主要研究内容包括：1)Bi6FezTi3018薄膜的 厚度效应；2)Bi6Fe2Ti3018薄膜的退火效应；3)Bi6Fe2Ti3018薄膜的疲劳与 保持性能：4)Bi6Fe2Ti3018超薄膜及其铁电、磁性能。论文主要结果如下： 第一章：主要介绍了1)铁电材料的相关概念、材料种类和铁电起源等背景 知识；2)层状铋基Aurivillius化合物的化学组成、晶体结构和研究发展历史， 着重介绍了n≥4的Aurivillius化合物；3)目前Bi6Fe2Ti301 8的研究现状：4) 化学溶液沉积法的主要特点及其用于制备铁电薄膜：5)本论文的研究内容。 第二章：厚度效应研究。采用化学溶液沉积法在Pt／Ti／Si02／Si(100)衬底上 制备了不同厚度的Bi6Fe2Ti3018薄膜，主要考察了薄膜厚度对其微结构和性能 的影响。研究结果表明：制备纯相Bi6Fe2Ti3018薄膜的温度范同为550-750。C， 随退火温度的升高，薄膜晶化质量提高，综合考虑薄膜的表面形貌和晶化质量， 我们认为最佳的制备温度应在700。C左右；随着薄膜厚度的增加，薄膜晶粒 (颗粒)尺寸增加，漏电流降低，介电、铁电性能增强，并且获得了趋于饱和电 滞回线，矫顽电场与剩余极化强度降低而饱和极化强度变化不大，并且矫顽电 场和薄膜厚度关系遵循经验性公式E。。(d0／3，最人剩余极化P，一20}．tC／cm2： 基于漏电流的导电机制拟合分析结果，观察到薄膜的漏电机制由空间电荷限制 电流机制起主导作用，而在高场区域则是有界面限制Fowler-Nordheim遂穿机 制的共同作用；比较薄膜总厚度对其性能的影响，我们认为所用制备工艺条件 下最佳的制备厚度应该在400 nm以上，且实验上所得厚度范围内薄膜表面均未 出现微裂纹。 第三章：退火效应研究。使用氮气、空气、氧气气氛及慢速、快速退火工 艺制备了Bi6Fe2Ti301s薄膜，研究了气氛与退火工艺对薄膜的晶化、表面形貌 以及铁电性能的影响。研究结果表明：相同退火气氛下，快速退火样品比慢速 退火样品具有更好的铁电性能：相l司快速退火工艺下，空气中制各样品具有最 万方数据 摘要好的铁电性能，而相同慢速退火工艺下，氮气中制备的样品具有最好的铁电性 摘要 好的铁电性能，而相同慢速退火工艺下，氮气中制备的样品具有最好的铁电性 能；总体比较，空气中快速退火样品表现出最优的铁电性能，其具有饱和的矩 形电滞回线以及最大的剩余极化值(一)；P，在666 kV／cm的外电场下即达到 21．5 I_tCtcm2，在击穿电场之前最大P，也达到了26 I，tC／cm2为目前Bi6Fe2Ti301 中报道的最大值；所获铁电极化性能可与Pb(zr。Til一。)03以