扫描探针显微镜多功能组合探针系统研制机械工程专业论文.docxVIP

西南交通大学硕士学位论文主要工作(贡献)声明本人在学位论文中所做的主要工作或贡献如下： 西南交通大学硕士学位论文主要工作(贡献)声明 本人在学位论文中所做的主要工作或贡献如下： 1．基于SPl3800N扫描探针显微镜的平台，研制了一套低成本、高效率、稳定性 好的手动式多功能组合探针系统，可同时实现微观摩擦磨损测试及原位形貌探测。 2．针对SPl3800N扫描探针显微镜真空腔体结构特点，设计并加工了一套简易的 适用于真空长距离、复杂结构、大温差跨度的温度测量系统。 3．为实现扫描探针．微区拉曼两种技术的联用，提出两种集成拉曼光谱的多功能组 合探针系统设计方案。 本人郑重声明：所呈交的学位论文，是在导师指导下独立进行研究工作所得的成 果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体己经发表或撰 写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已在文中作了明确说明。 本人完全了解违反上述声明所引起的一切法律责任将由本人承担。 学位论文作者签名： 苏翘亦 日期．为彤一S一碜 万方数据 西南交通大学硕士研究生学位论文 西南交通大学硕士研究生学位论文 第1页 摘 要 扫描探针显微镜是目前一种用途广泛的表面分析仪器，它不仅广泛应用于物理、 化学、生物、医学等基础研究领域，还在微纳制造和微电子等的应用研究领域中发挥 着越来越重要的作用。然而，目前商业化的扫描探针显微镜主要为单一探针的工作模 式，其功能相对单一，难以实现一些较为复杂的实验及检测功能。例如，在特殊环境 下(如真空或辐射环境)的微观磨损实验中，若采用单一探针模式，在完成磨损实验 后，需要更换曲率半径更小的针尖才能对表面磨损区域进行原位的高分辨形貌扫描与 观测。然而，在更换针尖的过程中，微观磨损的实验环境势必会遭到破坏，使试样暴 露在大气中，由此引发的氧化、电化学作用、表面污染等将可能造成试验结果偏离真 实，不利于对实验结果的科学分析。因此，亟需研发可用于原位实验和观测的扫描探 针显微镜多探针原位检测系统，实现不同功能探针的协同检测与分析。 基于上述需求，本论文在日本精工公司SPl3800N扫描探针显微镜的平台上，通过 设计高精度的移动定位平台、可长距离移动的多探针装夹装置、光学窗口以及系统各 部分密封装置，开发出了一套低成本、高效率、稳定性好的手动式多探针原位检测系 统；在此基础上，进一步提出了具有更高探针定位精度、高自动化程度、集成拉曼光 谱的多功能组合探针系统结构的设计方案。基于上述研究，本文的主要工作及创新点 如下： (1)研制出了一套低成本、高效率、稳定性好的手动式多功能组合探针原位检测 系统。通过设计手动高精度定位平台、探针支撑结构、光学窗口以及系统综合密封， 实现了多功能组合探针系统与扫描探针显微镜的有效匹配；在此基础上，设计和加工 了手动式多功能组合探针原位检测系统。 (2)研制了一套简易的适用于真空长距离、复杂结构、大温差跨度的温度测量系 统。针对SPl3800N扫描探针显微镜真空腔体结构特点，选择了铂热电阻传感器和 XMT806型智能PID温控仪，并通过三线制接法消除由于导线自身电阻产生的温度测 量误差。该系统适用于中低真空环境，具有结构简单，测量精准，成本较低等优点。 (3)为实现扫描探针技术．微区拉曼两种技术的联用，提出两种集成拉曼光谱的 自动式多功能组合探针系统初步结构设计方案。根据设备的工作要求，选择合适的压 电定位器，并通过探针载动圆盘结合探针夹具设计出探针定位平台：在此基础上，进 万方数据 西南交通大学硕士研究生学位论文 西南交通大学硕士研究生学位论文 第1I页 一步给出拉曼物镜“外置式”和“内置式”两种多功能组合探针系统的设计方案。 以上设备的研制，将有利于增强特定测试工况下微观摩擦磨损实验结果的真实性 和可信度。相关的研究成果不仅有助于丰富纳米摩擦学的基础理论体系，还有望促进 扫描探针技术应用的进一步拓展。 关键词：扫描探针显微镜；多功能组合探针：原位检测：真空测温系统；拉曼光谱 万方数据 西南交通大学硕士研究生学位论文 西南交通大学硕士研究生学位论文 第1l I页 Abstract Nowadays，scanning probe microscope(SPM)is a widely used surface analysis instrument．SPM not only services for fundamental research fields in physistry,chemistry and biology,but also becomes more and more important in the area of micro-manufacture and microelectronics．Howeve