金 刚石丝锯精密切割与其制备技术.ppt

半导体照明等光电子器件 电镀金刚石线锯 国内外电镀金刚石线锯美国 Diamond Materials Tech, Inc. 国内外电镀金刚石线锯德国LOG-O-MATIC 公司 国内外电镀金刚石线锯天津市曼德工贸公司Tianjin Mande Industry and Trade Co.,LTD. 国内外电镀金刚石线锯长沙岱勒新材料科技有限公司 金刚石线锯的高速电镀工艺 日本的千叶康雅等人研究推出一种采用毡刷的超高速电镀工艺，开发出金刚石线切工具高速电镀生产法。 使用氨基磺镍镀液，边让毡刷旋转边对心线施镀，可得到附着性优异的镀层，其生长速度达33μm/min，比普通电镀法快30倍，降低电镀金刚石线锯的生产成本，即提高线锯的生产速度，提高了线锯加工效率和使用寿命。 绞合金刚石线锯 绞合线制作装置 1. 绞合线制作装置 2. 琴钢丝 3.导丝装置 4.绞合线 5.绞合线(接阴极) 6.丙酮槽 7.盐酸槽 8.镀底层槽 9.复合电镀槽 10.二次镀槽 11.清洗槽 12.卷线装置 绞合线结构示意图 日本石川宪一等人研究开发出一种芯线为绞合线的新型金刚石线锯 绞合金刚石线锯的容屑与排屑 固结磨粒线锯排屑难，切屑易附着于磨粒表面。 绞合线外观 金刚石线锯的研究进展 金刚石线锯切割机理 金刚石线锯的性能和失效机理 线锯高速切割技术 超声振动辅助金刚石线锯切割 切割力测量与恒力控制 新结构金刚石线锯 金刚石磨粒固结技术 进入20 世纪90 年代，尤其是近几年来，固结金刚石磨粒线锯的需求剧增，金刚石线锯切割技术得到了快速发展，对其制备和应用技术的研究也更为深入，主要集中在以下几个方面： 微米金刚石线锯的规模化生产60Km以上 电镀金刚石线锯市场态势 电镀金刚石丝锯由于投入少、产出快、风险低，比较适合资金紧张的中、小企业或个体厂商开发。而且，电化学设施还可以“一机多用”兼而生产其他产品。 近期兴起的钎焊法生产金刚石丝锯，由于效率高、寿命长，也颇具有前途。但投入比电化学法要大，技术门槛也要求高一些。技术力量薄弱或资金匮乏企业应慎重选择。 此外，等离子喷涂法、CVD气相沉积法、激光涂覆法、微波法等等，都可以提供品质级别更高的人造金刚石丝锯制品，但其投入的需求及技术的难度相应也大。现阶段仅仅只有极少数科研院所的实验室有所涉猎，要进入工业化生产还需假以时日。 电镀金刚石线锯技术现状和研究方向 国外生产技术已基本成熟, 并且申请了多项专利。 国内对电镀金刚石线锯的研究和生产还处在起步阶段, 使用的电镀金刚石线锯主要依靠进口。 电镀金刚石线锯受到人们极大关注，目前研究方向： 研究电镀金刚石线锯用的基体, 主要是钢丝基体, 对其它基体的研究比较少, 基体材料比较单一, 因此进一步拓展电镀金刚石线锯用的基体将成为研究方向之一 由于目前常用的电镀金刚石线锯的使用寿命还不能尽如人意, 进一步增强结合剂对金刚石的把持力, 开发更加持久、 耐用的电镀金刚石线锯将成为研究方向之一 目前常用的制备电镀金刚石线锯的电镀技术需要时间较长, 进一步加强电镀技术的研究, 缩短制备周期和降低制造成本也将成为研究方向之一 大连理工大学研究条件 “机械制造及其自动化”国家重点学科，在精密/超精密加工及特种加工研究方面具有突出特色。 “精密与特种加工教育部重点实验室”、“先进装备制造技术辽宁省高校重点实验室”、“国家工程技术转移中心几何量测试中心”，拥有一批先进的科研仪器与设备。 还可利用 “精细化工国家重点实验室” 、“三束材料表面改性教育部实验室”等仪器设备。 去离子水处理系统 1t/hr 1100平方米恒温超净实验室 研究条件 美国Cetre公司CMP试验台 国产超精密研磨和抛光机 超精密硅片磨床(300mm) 化学机械抛光机(300mm) 研究环境和加工设备条件 双面研磨和抛光机 数控超声铣磨机床 测量仪器和微制造设备 激光荧光显微镜 圆度仪 平面度仪 大景深显微镜 台阶仪 扫描电镜 刻蚀机 德国三坐标测量机 原子力显微镜 Taylor表面形貌仪 Zygo表面轮廓仪 光刻机 电化学沉积试验系统 连续电镀试验台和自动化控制系统 单线切割机、划片机和电镀槽 树脂结合剂金刚石线锯的制造工艺——热固性树脂固结方法 日本大阪府的住友电气工业株式会社和大阪金刚石工业株式会社的上冈勇夫等人共同申请一项发明专利。 该线锯的特征是：在高强度的芯线上由粘结剂固定磨料颗粒和填料，磨料尺寸不小于树脂粘结剂层厚的三分之二、但不超过芯线直径的一半，填料尺寸小于粘结剂厚度三分之二。 线锯制作中的树脂固化需要加热和烧结工序，因此，线锯制造速度只能提高到每分钟数十米左右。 树脂结合剂线锯横断面 1-金刚石线