椭偏法测薄膜厚度和折射率.doc

椭偏法测薄膜厚度和折射率 主要的操作步骤：. 步骤1 打开高压开关。 步骤3 把SiO2样品放在测试台上，调节起偏器P的手轮和检偏器A的手轮，使红色光点最强。 步骤4 转动检偏器A手轮，从检偏器A的读数目镜中观测为15O，再转动起偏器P手轮（0—180 O，使红窗光点基本消失。 步骤5 把红窗的手柄向左旋转，关闭红窗，此时μA表有指示。转动起偏器P手轮和检偏器A手轮，使μA表指示趋于0，（或最小），记下检偏器读数A1（0＜A1＜90o）和起偏器读数P1。 步骤6 转动起偏器P手轮，使P=P1＋90O，再转动A手轮，使μA表指示最小，记下检偏器读数A2（90O＜A2＜180O）值。 步骤7 转动检偏器A手轮，A为180O-A1，转动P手轮，使μA表最小，记下起偏器读数P2的值． 实验原理 一束单色光经样片表面反射后，其光振动的振幅和位相都会发生变化，变化的程度由样片薄膜的厚度，折射率及样片衬底的折射率等决定。下面以衬底上的透明薄膜为倒，分几方面对原理加以说明。 1、边界上光的反射和折射 一单色光由折射率为nl的介质入射到边界，入射角为φ1：，其折射部分穿过边界进入折射率为n2的介质中，折射角为φ2。光学中定义入射光、反射光、法线所构成的平面叫入射面。光振动平行入射面的光波叫p波，垂直入射面的光波叫s波。依次记p波和s波的反射系数与折射系数分别为rp， rs，tp，ts，根据电磁波的反射和折射理论各系数可表示如下： （1） 式中E表示光振动的电矢量，下标I，refr分别表示入射、反射和折射，方程（1）称为Fresnel公式。 光在介质中的传播服从光的可逆性原理，即光由介质n2以p2角人射到边界，穿过边界进入n1介质，其折射角为φ1，此时p波和s波的反射系数和折射系数依次记为rp*，rps*，，tp* ，ts*，则根据可逆性原理，参照(1)式得 （2） 由式（1）、（2）可得 （3） 2、薄膜系统的反射率-椭偏法基本公式 衬底表面覆有均匀的各向同性薄膜，φ0表示单色光的入射角，φ1表示薄膜内的折射角，φ2表示衬底内的“折射角”， I表示空气与藩膜的分界面， Ⅱ表示薄胳与衬底的分界面， no为空气折射率，n1为透明薄膜折射率， n2为衬底的复数折射率，因为通常的衬底是吸边介质(例如硅，砷化镓等)，故有 K为消光系数， n2上标“^”表示该量是复数。依次记边界 I与边界Ⅱ的p波与s波的反射系数为r1p，r1s，，，根据电磁波的反射和折射理论可得另一表示式如下： （5） 方程（5）也称为Fresnel公式，式中φ0，φ1，满足Snell定律 设—入射光，以p波为例，(s波同理)，其入射光电矢分量为Epi。反射光是0，1，2，3，……各级反射光之和，设为Epr（下标r，r，分别表示人射和反射）。由图2可知零级反射（Ep）0为 第n级反射（Ep）n为 因而总反射Epr为 （6） 式中2δ为相邻二级反射光之间因光程差所引起的位相差，其值为 （7） 式中λ为单色光波长，d为薄膜厚度。将式（3）代入（6）消去t1p*及r1p*得 （8） 考虑到|x|1时 成立,求式(8)中级数和,并定义薄膜系统反射率 (9) 可得 (10) 式(10)中Rp,Rs通常是复数,定义它们的比值 (11) 其中tgψ相当于复数的模,Δ相当于幅角.合并式(10),(11)得到椭偏法的基本公式 (12) 公式(12)表示了薄膜厚度 d(包含在δ中)与ψ，Δ的关系，式中 r1p， ，r1s，由式(5)决定。 传统的椭偏仪直接测量的是ψ与Δ的关系，然后用计算机联立计算式(5)，(7)，(12) 等方程而获得d。目前市售椭偏仪都附有硅样片上各不同n1值的ψ,Δ,d表格和曲线可供查阅。 二、Δ与 d的测量计算 1、ψ与Δ的物理意义 为简单计以简谐波为例叙述如下： 入射光的p多s波与反射光的p波s波的振动方程用复数指数式分别表示为：