纳米TiO2薄膜的制备及其光谱特性研究-本原扫描探针显微镜SPM.PDF

纳米 TiO2 薄膜的制备及其光谱特性研究 郝丽媛 , 周炳卿 , 韩 　兵 , 陈 　霞 , 李力猛 , 那日苏 , 王丽娟 n ( 内蒙古师范大学 　物理与电子信息学院, 功能材料物理与化学自治区重点实验室 , 呼和浩特 　010022) c . 摘 　要 : 采用溶胶 凝胶法和旋转涂膜工艺 , 以普通玻璃为衬底 , 制备均匀、透明的 TiO2 纳米薄膜。利用 m ( ) ( ) 可见光谱 ( UV/ vis) 对 TiO 进行表征。通过 500 ℃、 X 射线衍射仪 XRD 、原子力显微镜 A FM 和紫外 2 600 ℃、700 ℃、800 ℃和 900 ℃恒温烧结 2h 后 XRD 测试表明 : 经 500°C 退火得到 TiO2 粉末为锐钛矿晶相 , o 800 ℃转化为金红石相结构 , 900 ℃出现了金红石相与板钛矿相的混合晶相。通过 A FM 观测 , 薄膜的平均粗糙度 为 1. 71 nm 。通过紫外可见光谱分析 , 探讨了影响 TiO2 纳米膜厚度和禁带宽度度的各种因素。结果表明 : 涂膜 c 次数、热处理温度等将直接影响二氧化钛薄膜的紫外可见光谱和禁带宽度。 . 关键词 : TiO2 纳米膜 ; 溶胶 凝胶法 ; XRD ; 紫外 可见光谱 中图分类号: O6124 文献标识码 : A 　 文章编号 : 1009 5624 (2009) 05 0017 06 m 紫外防护、火灾报警、地震发光现象的监测及临震 预报、高密度存储系统中的数据读出等诸多领域具 1 　引言 p [1 5 ] 有广泛的应用 。 紫外波段的光传感器具有抗干扰能力强和适于 紫外光的波长较短 , 适合研制紫外波段的光传 s 感器的最佳的材料应是一些禁带宽度较宽的半导体 恶劣环境等优良的特性被广泛应用于军事、航天、 . 材料。TiO2 作为一种宽禁带半导体材料 , 对可见 环保等许多工业控制领域。军事上 , 可用于导弹、 飞机的尾焰探测跟踪 , 具有高的抗干扰性 ; 也可作 光几乎不吸收 , 对 340nm 以下紫外光具有很好的 为太空飞船轨道中太阳紫外光的探测器 ; 环保上 , 吸收特性。而且其化学稳定性和耐候性良好 , 制备 w 随着臭氧层的破坏 , 对太阳光紫外线辐射的监测愈 工艺相对成熟 , 被广泛应用于抗紫外线吸收剂 (化 加重要。此外 , 传感器亦可对有害工业