风洞试验用高精度压力传感器的研究电路与系统专业论文.docxVIP

西南科技大学硕士研究生学位论文 西南科技大学硕士研究生学位论文 第1页 摘 要 风洞，作为空气动力学研究最基本也是最重要的工具之一，它对模型测 试数据的精确性直接影响着模型的后续研究。模型表面压力测量是风洞试验 中最基本也是最重要的试验之一。压力传感器作为风洞试验中模型表面压力 测量的重要工具，其技术指标的提升就显得非常有必要。本文主要对测量范 围为0-100kpa的扩散硅绝压传感器进行研究。 本文首先对MEMS技术进行了简要介绍，引出MEMS传感器技术的发 展现状；同时对目前风洞试验中常用的模型表面压力测量方式进行详细介 绍，提出本次设计绝压传感器的必要性： 接着对硅压阻式压力传感器的工作原理进行分析。通过对感压薄膜的力 学结构的分析与比较，实现传感器结构的改进。采用ANSYS软件进行有限 元模拟，并从模态分析、谐响应分析、瞬态结构动力学三个方面对传感器弹 性元件的动态特性进行了研究，得出设计的传感器弹性元件有良好的动态响 应特性。 然后研究了如何用ANSYS软件实现弹性元件的结构优化，通过建立传 感器弹性元件的力学模型、优化参数模型、优化数学模型实现结构优化并获 得最优结果，优化结果表明该方法对传感器的弹性元件结构起到了很好的优 化作用。 最后，通过样品试制以及样品各方面性能测试，验证了所设计的绝压传 感器各方面性能指标均满足设计要求。 关键词：绝压传感器 感压薄膜 ANSYS 风洞 Abst Abst ract As one of the most basic and important means of aerodynamics，The accuracy of the model test results in the wind tunnel directly affect their follow．up study．The model surface pressure measurement is one of the most basic and most important test one in the wind tunnel．Therefore，as a measurement tool，the upgrading of the pressure sensor technical indicators is very necessary．In this paper，we have research on the diffusion silicon absolute pressure whose the measurement within the range of 0-1 00kpa． In this paper，we have a brief introduction of MEMS technology，leads to the development status of the MEMS sensor technology；Then we describe the test method of the surface pressure measurement of the model in the wind tunnel， solve why it iS necessary to study the absolute pressure sensor． Then，the operation principle of the piezo。resistive pressure sensor lS analyzed and its working performances is compared．Through comparing and analyzing several structure diaphragms，an optimal structure is obtained，which is simulated by the software ANSYS，and analyzed in dynamic characteristic of sensor elastic element structure is studied in modal and harmonic and transient structure dynamics by ANSYS software，and well dynamic character is derived from the analysis result． In addition the paper investigates how to make the elastic element structure optimization come true by usi