zno纳米陈列的可控制备微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

分类号 分类号 密级 ZnO纳米阵列的可控制备 Controllable Fabrication of ZnO nano—-array 指导教师姓名、职称 廑盘盘塾筮 学 科 专 业 邀垫王茔鱼圈堡垫王堂 研 究 方 向 盘重叠垂鱼出垫盐缝挝盘 湖南师范大学学位评定委员会办公室 二零一五年五月 万方数据 摘 摘 要 ZnO在常温时的禁带宽度是3．37eV，激子束缚能是60meV，是 重要的II．Ⅵ族直接带隙宽禁带半导体材料，其原料丰富、价格低廉， 并拥有绿色环保、性能稳定及抗辐射能力强等优点使它在光电子器 件、微电子器件、太阳能电池及激光器等领域有重要的应用。本论文 主要研究了在FTO透明导电玻璃上对ZnO纳米阵列的可控制备，利 用的是两步法制备ZnO纳米阵列，即首先在FTO透明导电玻璃上利 用溶胶．凝胶法制备ZnO籽晶层，然后再用水热法在籽晶层上制备 ZnO纳米阵列。溶胶．凝胶法对实验仪器的要求不高，水热法是在溶 液中进行化学反应的方法，与其他方法相比，水热法制备流程简单、 成本低廉，能够在大面积的基底上实现ZnO纳米阵列的均匀化生长。 在制备ZnO的过程中，采用乙酸锌[Zn(CH3COO)2·2H20]作为锌 源，然后在冰醋酸及乙醇胺的共同作用下，溶于乙二醇甲醚此溶剂中， 并于室温环境中冷却生成凝胶；之后再利用旋涂的方法把溶胶均匀涂 覆于FTO透明导电玻璃上，通过热处理方法制备ZnO薄膜。在制备 ZnO纳米阵列中，采用乙酸锌[Zn(CH3coo)22H20]和六次甲基四胺 (C6H12N4)在热介质中溶解； 溶解后的锌盐乙酸锌 [Zn(CH3C00)r2H20]与碱液以离子、分子的形式存在于溶液中，最 后冷却形成饱和溶液，随后再形成晶粒，最后结晶生成ZnO纳米阵 列。 万方数据 利用X射线衍射()fl良D)、扫描电子显微镜(SEM)及紫外一可见 利用X射线衍射()fl良D)、扫描电子显微镜(SEM)及紫外一可见 分光光度计(UVS)等表征方法，对ZnO纳米阵列的晶体结构、光学 特性及其表面形貌进行了研究分析，探讨了不同的籽晶层层数、不同 的锌源(Zn2+)浓度、不同的制备时间及不同锌碱比(Zn2+／OH’)等 对ZnO纳米阵列的影响，对ZnO纳米阵列最佳制备工艺的采取了深 入研究，实现ZnO纳米阵列的可控制备，从而获得高质量的ZnO纳 米阵列。通过实验得出ZnO纳米阵列的最佳制备条件：配制的前驱 体溶液的锌源用乙酸锌，锌离子(Zn2+)浓度为0．15mol／L，锌碱比 (Zn2+／OH。)为5：l，水浴反应时间为1．5小时，水浴温度为900C， 其可见光区的透过率能达75％。 关键词：ZnO，纳米阵列，水溶液法，调控制各 万方数据 AB AB STRACT ZnO is recognized as an important II—V1 wide band semiconductor material with band gap 3．37eV and exciton binding energy 60meV at room temperature．It plays a significant role in optoelectronic devices， microelectronic devices，solar cells and laser，ect，because ofits rich raw material resources，low cost，green enviromental protection，strongly resistant raditiom．This thesis conducts an study on preparing ZnO nano arrays on FTO transparent conductive glass．The two-step method is to be used to prepare ZnO nano arrays．Firstly，ZnO seed layers are to be prepared on FTO transparent conductive glass according to Sol—gel method，then the hydrothermai method is used to prepare ZnO nano arrays on seed layers．Experimental apparatus aren’t hi曲ly required in the Sol-gel method．Compared with other methods，the hydrothermal method which conducts chemica