1064nm激光高反膜制备及损伤特性研究仪器仪表工程专业论文.docxVIP

deposition deposition temperature，prepared by laser metal—dielectric high reflective film and the anti laser damage properties have obvious improvement，of laser high reflection film for laser pretreatment can greatly improve the laser damage threshold of film． Key Words：optical thin film；metal-dielectric film；laser damage mechanism；laser pretreatment 万方数据 目 目 录 1绪论 ．．1 1．1研究背景及意义 1 1．2激光高反膜的研究现状 2 1．2．1激光高反膜概述 ．．2 1．2．2国内研究现状 ．．2 1．2．3国外研究现状 ．．3 1．3本文的主要研究内容 4 1-3．1主要研究内容 一4 1．3．2研究技术路线 一5 1．4本章小结 ．5 2光学薄膜的激光损伤理论 一6 2．1光学薄膜的性质与损伤的关系 6 2．1．1光学薄膜的性质 一6 2．1．2光学薄膜对激光的吸收和散射 ．6 2．1．3光学薄膜的驻波场和温度场 ．7 2．2光学薄膜的制备工艺与对激光损伤的影响 7 2．3光学薄膜损伤机理与损伤判定 9 2-3．1光学薄膜的损伤机理 ．9 2．3．2高反膜的激光损伤判定 9 2．4光学薄膜损伤阈值的测试 ．10 2．4．1激光损伤阈值的检测标准 10 2．4．2损伤阈值测试的相关概念 11 2．5本章小结 13 3 1064nm激光高反膜的设计与制备 ．14 3．1膜系设计理论 。14 3．2激光高反膜的制备工艺 ．．17 3．3薄膜材料的选择 ．．18 3．3．1材料的热力学性质和机械性能 ．．18 3．3．2材料的吸收系数和纯度 18 3．3．3实验中选择的薄膜材料 18 3．4单层金属膜的制备 ～2l 3．5介质保护膜的制备 一2l 3．6金属．介质膜的制备 ．2l 万方数据 3．7本章小结 3．7本章小结 22 4 1064nm激光高反膜的性能表征 23 4．1光学性能和厚度测试 ．．23 4．1．1Lambda950紫外可见近红外分光光度计 23 4．1．2单层金属膜光谱特性测试 24 4．1．3单层金属膜的厚度测试 26 4．1．4金属．介质膜光谱特性测试 一28 4．2激光损伤阈值测试 一30 4．2．1实验装置的搭建 ．30 4．2．2单层金属膜的损伤阈值测试 32 4．2．3 1064nm金属．介质高反膜损伤阈值测试 ．．34 4．2．4金属．介质高反膜的损伤形貌和特性变化 35 4．3金属铝膜和金属银膜性能对比． 37 4．3．1金属铝膜和金属银膜性能对比 ．．37 4．3．2金属铝介质膜和金属银介质膜性能对比 ．．38 4．4工艺优化及提高损伤阈值的方法 ．39 4．4．1工艺改进 39 4．4．2对薄膜进行激光预处理 39 4．4．3提高金属薄膜损伤阈值的方法 。4l 4．5本章小结 42 5结论与展望 43 5．1结j念 43 5．2展望 43 参考文献 ．45 攻读硕士学位期间发表的论文 49 致谢 ．50 学位论文知识产权声明 51 学位论文独创性声明 ．．52 万方数据 l绪论1绪论 l绪论 1绪论 1．1研究背景及意义 伴随着上世纪六十年代激光器的发明，由于激光器具有良好的相干性、单色性、高亮 度、方向性，激光器在精密测量仪器、光电吊舱系统、微光夜视系统、通讯和信息传输、 军事、国防等方面被广泛的应用【1】。从激光器出现开始，人们就开始对激光与物质的相互 作用进行不断的探索，激光系统中光学元件的损伤特性一直是研究的焦点。因为光学元件 在激光系统中有着不可替代的位置，同时它也是最容易受激光损伤的，所以光学元件抗激 光损伤的能力直接决定着整个激光系统中激光器有效输出功率的高低。因此，探索激光和 光学元件表面薄膜的相互作用，分析光学薄膜的损伤机理是激光研究领域的一个重要任务 f2】。 半导体激光器在1962年被成功研发，1970年实现室温下连续输出，它具有效率高、体 积小、重量轻、功率高、寿命长且价格低等优点，因此在使用方面备受青睐【，】。激光器的 谐振腔是由内部半导体晶体的解理面组成的，由于半导体晶体的解理面的散射率将近70％ 左右，器件产生的激光能量只有30％在谐振腔中反射最后输出，激光器产生的能量只有l／3 得到应用，其余的能量全都损耗在后腔面上了【钔。所以研究学者们为了提高激光器的输出 功率，在激光器的后腔面蒸