微型机器人发展史.doc

PAGE PAGE 1 微型机器人发展史 成聪 （华北科技学院 河北 ） 摘要：微型机器人是微电子机械系统的一个重要分支,它是随着微机电系统（MEMS）的出现和发展而应运而生的。由于它能进入人类和宏观机器人所不及的狭小空间内作业, 近几十年来受到了广泛的关注。与此同时，在微型机器人的发展中也出现了不少的问题。本文只是介绍微型机器人的发展历程及其发展中的遇到的一些问题，并且介绍一下微型机器人发展的前沿。 关键词：微型机器人 微电子机械系统 中国分类号：TP243 0 前言 微型机器人是现化机器人技术发展的很很重要方向这一，由于其结构尺寸微小、器件精密，可进行微细定位和微细操作，微型机器人可以应用在其他机器人无法应用的场合： 对于人烃无法进入的危险区域，如航天飞机、导弹、核动力工厂以及石油化工的管道的探伤和维修更是十分需要微型管道机器人； 医疗上用于诊断、注药、切除和修补的微型机器人； 用于操作血球、细胞的微型机器人； 集成电路的检查和修补以及制作过程中的微定位和微操作； 微型器人还在军事上具有应用价值，例如用来进行军事侦察，具有不易被发现的优点等。 1 微型机器人的出现 1.1 微型机器人出现的基础——微机电系统（MEMS）和微驱动器 微型机器人出现是和微机电系统的发展是分不开的，可以说，微型机器人就是可编程通用的微型机电系统工程。微机电系统的20世纪80年代后期随着大规模和超大规模集成电路的迅速发展，微电子技术与机械、光学等领域的成功结合而诞生的，是微电子技术的拓宽和延伸，它将电子技术遭到精密机械加工技术相融全，实现了微电子与机械融为一体的系统。 和微机电系统一样，微型机器人的发展是和微驱动器的发展也分不开的，轰动世界的突破性的成就是1987年美国加州大学伯克利分校首先研制出了转子直径为60~120um的微型静电动机，随后MIT也研制出了100um的静电动机。 正是微机电系统和微驱动器的出现和发展为微型机器人的出现作了铺垫，使得微型机器人应运而生。 1.2 微型机器人的出现 20世纪80年代后,随着微机电系统和微驱动器的出现和发展, 随后由微驱动器、控制系统、执行器和传感器组合而成的世界上第一台微型机器人便应运而生了。 2 微型机器人的发展 2.1 微型机器人的发展现状 2.1.1 微型管道机器人的发展 微管道机器人是基于狭小空间内的应用背景提出的, 其环境特点是在狭小的管状通道或缝隙行走进行检测, 维修等作业。由于与常规条件下管内作业环境有明显不同, 其行走方式及结构原理与常规管道机器人也不同, 因此按照常规技术手段对管道机器人按比例缩小是不可行的。有鉴于此, 微型管道机器人的行走方式应另辟蹊径。近年来随着微电子机械技术的发展和晶体压电效应和超磁致伸缩材料磁- 机耦合技术应用的发展, 使新型微驱动器的出现和应用成为现实。微驱动器的研究成果已成为微管道机器人的重要发展基础。日本名古屋大学研制成一种微型管道机器人, 可用于细小管道的检测, 在生物医学领域的小空间内作微小工作。这种机器人可以由管道外面的电磁线圈驱动, 而无须以电缆供电。日本东京工业大学和NEC公司合作研究的螺旋式管内移动微机器人, 在直径为Φ2514mm的直管内它的最大运动速度是260mm/ s , 最大牵引力是12N。法国Anthierens 等人研制出了适用于Φ16mm的蠕动式机器人, 此种微型机器人的最大运动速度为5mm/ s , 负载可达20N , 具有很高的运动精度, 负载大, 但运动速度较慢且结构复杂。 国内的上海大学和上海交通大学都研制出了惯性冲击式管道微机器人, 上海交通大学的微机器人采用层叠型压电驱动器驱动; 上海大学的微机器人驱动器有层叠型和双压电薄膜两种类型。 2.1.2 微型医疗机器人的发展 近几年来, 医疗机器人技术的研究与应用开发进展很快, 微型医疗机器人是其中最有发展前途的应用领域, 据日本科学技术政策研究所预测, 到2017 年医疗领域使用微型机器和机器人的手术将超过全部医疗手术的一半。因此日本制定了采用“机器人外科医生”的计划, 并正在开发能在人体血管中穿行、用于发现并杀死癌细胞的超微型机器人。美国马里兰州的约翰·霍普金实验室研制出一种“灵巧药丸”, 实际上是装有微型硅温度计和微型电路的微型检测装置,吞入体内, 可以将体内的温度信息发给记录器。瑞典科学家发明了一种大小如英文标点符号的机器人, 未来可移动单一细胞或捕捉细菌, 进而在人体内进行各种手术。国内的的许多科研院所主要开展了无创伤微型医疗机器人的研究, 取得了一些成果。无损伤医用机器人主要应用于人体内腔的疾病医疗, 它可