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第三章 常用的传感器 郑惠萍 河北科技大学机械电子工程学院 内容提要 基 本 概 念 传感器的定义 把直接作用于被测量，能按一定规律将其转变成同种或别种量值输出的器件 传感器的作用 把被测量转换为易测信号，传送给测量系统的信号调理环节 测量变换器 提供与输入量有给定关系的输出量的器件 传感器就是输入量为被测量的测量变换器； 位于测试装置的输入端 传感器的分类 按被测量分类 位移、速度、加速度、力、温度 按传感器工作原理分类 机械、电器、光学、流体式 按信号变换特征分类 物性型、结构型 根据敏感元件与被测对象之间的能量关系分类 能量转换（无源传感器）、能量控制型（有源传感器） 按输出信号分类 模拟式、数字式 物性型、结构型传感器 物性型传感器是依靠敏感元件材料本身的物理化学性质的变化来实现信号的变换的。 水银温度计：水银的热胀冷缩现象 压力测力计：石英晶体的压电效应 结构型传感器是依靠传感器结构参数变化而实现信号转换的。 电容式传感器：极板距离 电容变化 电感式传感器：衔铁位移 自感或互感变化 能量转换、能量控制型传感器 能量转换型（无源）传感器：直接由被测对象输入能量使其工作；热电偶温度计、弹性压力计等 机械式传感器 1 工作原理： 以弹性体作为传感器的敏感元件，输出为弹性元件本身的弹性变形。 机械式传感器 2 特点：结构简单、可靠、使用方便、价格低廉、读书直观；但弹性变形不宜大，机械传动宜受间隙影响，惯性大、固有频率低 应用：用于检测缓变或静态被测量 提高测量频率范围的方法 被测量 变形（位移） 电信号 机械式传感器 3 在自动检测、自动控制技术中广泛应用的微型探测开关也被看作机械式传感器。 电阻式传感器 1 定义：把被测量转换为电阻变化的传感器。 分类（按工作原理）： 变阻式（电位差计式）传感器 电阻应变片式传感器 金属电阻应变片 半导体应变片 变阻式传感器 1 工作原理： 位移变化 电阻的变化 变阻式传感器 2 变阻式传感器 的后接电路 一般采用电阻分压电路 变阻式传感器的特点应用 特点：优点是结构简单，性能稳定，使用方便。缺点是分辨力不高，因为受到电阻丝直径的限制。提高分辨力需使用更细的电阻丝，其绕制较困难。所以变阻器式传感器的分辨力很难优于20μm。由于结构上的特点，这种传感器还有较大的噪声。 应用：被用于线位移、角位移测量，在测量仪器中用于伺服记录仪器或电子电位差计等。 电阻应变式传感器 ---金属电阻应变片1 工作原理：是基于应变片发生机械变形时，其电阻值发生变化。 常用的有丝式和箔式两种。 电阻应变式传感器 ---金属电阻应变片2 电阻应变式传感器 ---金属电阻应变片3 电阻应变式传感器 ---金属电阻应变片4 电阻应变式传感器 ---金属电阻应变片5 制造应变片的电阻丝的灵敏度多在1.7~3.6。 一般市售电阻应变片的标准阻值有60Ω、120 Ω 、350 Ω、600 Ω和1200 Ω等。其中以120 Ω为最常用。应变片的尺寸可根据使用要求来选定。 常用电阻丝材料的物理性质见表3-2。 电阻应变式传感器 ---半导体应变片1 工作原理：基于半导体材料的压阻效应。 所谓压阻效应是指单晶半导体材料在沿某一轴向受到外力作用时，其电阻率ρ发生变化的现象。 电阻应变式传感器 ---半导体应变片2 优点：灵敏度高，机械滞后小、横向效应小以及体积小 缺点：温度稳定性能差、灵敏度分散度大(由于晶向、杂质等因素的影响)以及在较大应变作用下，非线性误差大 几种常用半导体材料特性见表3-3。 电阻应变式传感器应用实例1 直接用来测定结构的应变或应力 电阻应变式传感器应用实例2 将应变片贴于弹性元件上，作为测量力、 压力、加速度等物理参数的传感器。弹性元件得到与被测量成正比的应变，再由应变片转换为电阻的变化。 电阻应变式传感器应用注意事项 电阻应变片测出的是构件或弹性元件上某处的应变，而不是该处的应力、力或位移。 粘合剂 和粘合技术对测量结果有着直接 影响。 用于动态测量时 应考虑应变片的动态响应特性。其中，限制应变片上限测量频率是所使用的电桥激励 电源的频率和应变片的基长。一般上限测量频率应在电桥激励电源频率的1/5~1/10以下。基长愈 短，上限测量频率可以愈高。一般基长为l0mm时，上限测量频率可高达25kHz。 要采取相应的温度补偿措施，以消除温度变化所造成的误差。 电感式传感器 工作原理：把被测量，如位移等，转换为电