考虑残余应力影响的谐振式生化传感器微膜动态特性研究过程装备工程专业论文.docxVIP

优秀毕业论文 精品参考文献资料 分类号：砧阻 分类号：砧阻 单位代码：10422 密级：钎 学 号：2叩胜7 ．J◆莨九毛 SHANDONG UNIVERSITY 博士学位论文 Dissertation for Doctoral Degree 论文题目：砉点，搬鼬匙啁钓谧扳式生心蟪最敞硬 纳态搏娜 舭讪蜊北s呼№～呷哪叶‰枷肺删 饥聪‰姒旧址舭呼胁。似妣g 作者 姓 名 培养 单 位 专业 名 称 指导 教 师 合作 导 师 】弗年 占月3 f日 万方数据 黜一 黜一 孵一 A Dissertation SubmiHed to Shandong University for the Degree of Doctor of Philosophy Dynamic Characteristics of Micro—Diaphragm of Resonant Biochemical Sensors Considering the Effect of Residual Stress Candidate： Wu Huayong College： School of Mechanical Engineering Specialty：Process Equipment Engineering Supervisor：Pro．Zhou Shenjie Co-supervisor： Shandong University，Jinan，P．R．China May,2015 万方数据 原创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进 原创性声明 本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进 行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何 其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡 献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本声明的法律责任由本人 承担。 论文作者签名：墨．丛豆 日 关于学位论文使用授权的声明 本人同意学校保留或向国家有关部门或机构送交论文的印刷件和电子 版，允许论文被查阅和借阅；本人授权山东大学可以将本学位论文的全部 或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或其他复制手 段保存论文和汇编本学位论文。 (保密论文在解密后应遵守此规定) 论文作者签名：羔丛杰导师签名： 万方数据 目 目 录 摘|荽 ．I Abstract ．III 第l章绪论 。1 1．1研究背景及意义 1 1．2国内外研究现状 1 1．2．1谐振式微膜生化传感器的发展 ．2 1．2．2薄膜残余应力的研究 5 1．2．3薄膜与液体耦合振动的研究 7 1．2．4研究存在的问题 ．9 1．3主要研究内容 ．．10 第2章微膜残余应力研究 。13 2．1引言 一13 2．2微膜残余应力分析 13 2．2．1热失配应力 13 2．2．2本征应力 1 5 2．3单层膜残余应力研究 一16 2．4复合膜残余应力研究 。17 2．4．1残余应力在复合膜中的分布状态 一17 2．4．2残余应力对复合膜压曲的影响 一24 2．4．3残余应力对复合膜变形的影响 ．．26 2．4．4残余应力对复合膜固有频率的影响 ．．29 2．4．5数值结果与分析 32 2．5本章小结 34 第3章微膜在气体介质中的动态特性 37 3．1引言 ．．37 3．2微膜数学模型 ．．37 3．3无阻尼自由振动 ．．37 万方数据 万方数据 万方数据 山东大学博士学位论文3 山东大学博士学位论文 3．4板一膜行为特性的判定 40 3．4．1板模型 40 3．4．2膜模型 41 3．4．3板．膜行为转变 ．41 3．5有阻尼受迫振动 。44 3,6数值结果与分析 一45 3．7本章小结 ．．47 第4章吸附物对微膜固有频率的影响 ．49 4．1引言 49 4．2考虑吸附物影响的微膜数学模型 ．49 4,3吸附物对固有频率变化的影响 ．53 4,3．1整体吸附 54 4．3．2部分吸附 59 4．4本章小结 。60 第5章微膜在液体介质中的自振特性 。63 5，1引言 ．．63 5．2微膜与液体的接触自由振动 ．63 5．3假设振型法 ．．65 5．3．1液体速度势的计算 ．．65 5．3．2无量纲附加质量因子 67 5．3．3液膜耦合频率分析 ．．71 5．4 Rayleigh—Ritz法 一76 5．4．1试函数的选取 76 5．4．2系统的特征值 77 5．4．3数值结果与分析 78 5．5本章小结 ．．8l 第6章微膜在液体介质中的响应特性 83 6．1引言 83 6．2液膜耦合的动力学响应模型 ．83 II 万方数据 万方数据 目录6 目录 6．3微膜在液体介质中的有效质量 ．84 6．4液体介质对质量灵敏度的影响