压电效应振动模式.pptVIP

压电振动模式 王春雷 山东大学 物理学院 晶体材料国家重点实验室 石英晶体： 石英晶体的结构、培育、主要特性、质量检验、缺陷和电清洗 压电效应： 压电效应、压电方程、切型和定向、旋转坐标系、频率温度系数 振动模式： 振动模式、压电振子的等效电路、机电类比和机电网络，常见的振动模式 谐振器和振荡器： 谐振器的等效电路、振动模式；振荡器原理 为什么研究压电振子的振动模式？ 有哪些常用的振动模式？ 例子：薄长片压电振子 设d31?0的压电晶体的zx切割晶片，长度l沿x方向，宽度lw沿y方向，厚度lt沿z方向，并且有llw和lt，电极面与z轴垂直，如图6-3所示。因为llw和lt，长度方向是主要因素，所以只考虑应力分量X1的作用，其它应力分量X2、X3、X4、X5、X6可以忽略不计。 位移（形变）是由压电性引起的！ 为了对上式所表示的波形有较具体的了解，在图5-2中，绘出了t=0及t= ?/?=1/2周期时的波形。从图5-2中可以看出上式代表纵驻波方程式，即在薄长片压电振子中传播的是纵驻波。 频率很低时的情况 at low frequency：当外加交变电场的频率很低时，即?很小时，可以近似认为k=?/c?0，于是: 频率很低时，薄长片压电振子的等效导纳： 在谐振频率时的情况 resonant：当外加交变电场的频率f等于谐振频率fr时，即：?=?r=?c/l时，= 基波解n=0! 与传统电介质材料不同！ 可见，当外加交变电场的频率等于薄长片压电振子的谐振频率fr时，阻抗为零时，而通过的电流最大。谐振频率fr为： 弹性顺服常数sE11的确定 实验上，可以通过谐振频率的测量，即：阻抗最小，电流最大时的频率来确定弹性柔顺常数sE11（当然还要测量压电振子的密度），即： 在反谐振频率时 anti-resonant 当外加交变电场的频率f稍高于谐振频率fr时，即： 即:当k=ka时，薄长片压电振子的等效导纳为零，等效阻抗为无限大；通过压电振子的电流等于零。 其中： 有损耗时压电振子的等效电路（谐振频率附近） 等效电路参数为： 等效网络方法Equivalent circuit method 基本概念:机电类比和传输方程 例子:薄长片压电振子的等效网络 机电类比 某机械振动系统，如图所示，其中质量为m，弹性常数为K，阻力为Rm?U，振动速度为U。若外界的作用力为F，则此系统的运动方程式为： 某LC串联电路，如图所示，其中电感为L，电容为C，电阻为R，电流为I。若外加电压为V，则有： 如果为LC并联电路，如图所示，则有 表5-1 机械量与电学量类比 线性机电网络 电学四端网络:如图5-15所示的四端网络，选电流I1、I2为自变量，电压V1、V2为因变量，它的传输方程： 例如图5-16所示的T型四端网络，它的传输方程为： 机械四端网络:如图5-17所示的机械四端网络，选速度U1、U2为自变量，力F1、F2为因变量，它的传输方程： 例如图5-18所示的T型机械四端网络，它的传输方程为： 机电四端网络:如图5-19所示的机电四端网络，选电流I和速度U为自变量，电压V和力F为因变量，它的传输方程： 若选V、U为自变量，则由（5-94）式可得另一组传输方程: 例如图5-20所示的机电四端网络，它的传输方程为: 机电六端网络:如图5-21所示的机电六端网络，选速度U1、U2和电流I为自变量，力F1、F2和电压V为因变量，它的传输方程： 若选V、U1、U2为自变量，则由（5-98）式可得到另一组传输方程: 例如图5-22所示的机电六端网络，它的传输方程为: 薄长片压电振子的等效网络方法 导纳或者阻抗分析后，得到传输方程: 根据传输方程可以画出薄长片压电振子的Mason等效网络 其中： 振动模式分析的意义： （1）材料参数的测量方式，材料参数和器件参数的关系； （2）等效电路和机电等效网络； （3）节点的位置确定谐振器的支架的位置。 常见压电石英振子的振动模式 长度伸缩振动： 弯曲振动：宽度弯曲振动、厚度弯曲振动 切变振动：面切变振动、厚度切变振动 能陷振动模式：厚度振动 长度伸缩振动 longitudinal extension mode 石英晶体的压电应力常数e（单位：C/m2） 库伦/平方米 面切变振动 shear mode 或者：轮廓切变模式 当压电片做面切变振动模式时，其主平面的一条对角线伸长，另一条对角线缩短，对角线中点为节点。 弯曲振动 bending modes 单片厚度弯曲振动模式： 石英音叉： 能陷（能阱）模式 energy-trap modes 设晶片沿x方向的尺寸无限大，研究位移沿x方向的切变波。在晶片上下主表面为自由机械边界条件下，位移的解为： 由于电极