反应磁控溅射法制备ticn镀层的组织结构与性能研究材料科学与工程专业论文.docxVIP

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反应磁控溅射法制备ticn镀层的组织结构与性能研究材料科学与工程专业论文

西安 西安 理 工 大 学硕 士 学位 论 文 e o lu m n a r stru e tu re d is a p p e a rs in th e h ig h e r g ra P h ite ta rg e t c u rre n t o r b i既 e r p e rio d ie a l th ic k n e s s , T h e T i(C ,N ) 行I,n s 11a v e th e h ig h m ie ro h a rd n e ss (4 4 G P a ). w e ll ad h e sio n a n d Io w fr ie tio n e o e m c ie n t (0 .2 5 ),th is 15 b eca u se o f fi n e g ra in siz e as w e ll a s s 一n a ll a m o u n t o f P u re ca rb o n w ith s p Z b o n d s e x isrin g in th e n 一m s . T h e 6 一m s a re sti一 s u p e r h a rd in s p ite o f rh e a p p e a ra n e e o f p u re e a rb o n . T h is 15 d u e to tl飞e 一n u ltila y e r stru c tu re th a t Ie a d s to th e e n h a n c e d h a rd n e ss a n d ad h e s io n strengt h w h ile the stress o f fi lm s ean be re lax ed by the h ig h n u m ber o f interfac es in a m eehan ieal lo ad ed e n v iro n m en t.T he T i(C ,N ) fi lm s w ith th ese suP erio r P ro Pert ies an d u n iq ue st ruc tu re g iv e a e le ar s ig h t to th e we ll a n ti一a b ras io n P ro P e rt ie s,th e We a r rat io 15 a b o u t te n th e o m P a re d w ith th e o n e o f T IN fi lm o r T IC fi lm . C o m P are d w ith th e T i(C ,N ) fi lm ,th e T i(C ,N )/G L C eo rn Po site fi lm sh o w s th e su pe rio r a n ti一a b ras io n P ro P ert ies,its eo m bo n at io n bo th h ig h hard n ess an d w e ll ad h e sio n o f T i(C ,N ) fi lm a n d lo w fr ietio n co e m c ie nt o f G L C . T h e T i(C ,N )/G L C eo m Po site fi lm in ereas es th e w ea r re s is ta n e e P ro P e rt ie s o f fi l一刀5 . Ke y w o rd s : re ae tiv e 一n ag n etro n sP u rt e rin g : T i(C ,N ) fi lm ; g ra P h ite ta rg et: m u ltilay e r stru etu re T h is su bj ect suP Po rt ed fr o ,n T he N atio nal H ig h一tech no logy R eseareh and D evelo P m ent P ro g ra m , C h in a (G ra n t N o . ZO 0 5 A A 3 3 H o l) 川 夕 目 目 录 1 绪 论 ....……“.…”..............… …”..…“

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