一种在线测量微机械薄膜残余应力新结构！.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 0* $% %%# $% ， ， ， MN: )0* 1N ) $% ODNPBQ %%# （ ） $%%%4+(%%%#0* $% 0*($4%# 6-36 IJKFL-6 FL1L-6 !%%# -R9 ) IR;S ) FND ) 一种在线测量微机械薄膜残余应力的新结构! ! 虞益挺 苑伟政 乔大勇 梁 庆 （西北工业大学微 纳米系统实验室，西安 ） #$%%# （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %%# $ $’ %%# $ ( 提出了一种利用临界屈曲法在线测量微机械薄膜残余应力的新结构，并采用表面微加工技术制作了两种测试 样品 搭建了在线观测实验装置来实时监控释放过程中结构出现的临界屈曲变形模态，由此判断出结构内部的应 ) 力状态，同时在测得临界刻蚀深度的情况下，采用有限元方法计算出残余应力大小) 借助有限元方法，先研究了多 个参数对临界屈曲应力的影响，然后利用这种新结构对薄膜残余应力进行了实际测量，所得结果与微旋转结构的 应力测量结果基本吻合) 分析及实验表明，新结构在测量薄膜残余应力方面有许多优点，具有较高的实用价值，不 仅能满足大量程的应力检测要求，而且只用一个结构就可以同时测量压应力和拉应力，从而极大提高了器件版图 空间的利用率) 关键词：薄膜残余应力，临界屈曲，在线测量，有限元方法 ： ， ， ， !## %*+%, %#$%- .*+%/ *$’0 这种方法对微机械结构进行屈曲观察通常是在牺牲 $E 引 言 层释放、结构烘干以后，需借助干涉仪或扫描电镜 （ ）等仪器 对于一定大小的残余应力，当微梁或 F2, ) 近年来，微机电系统（ ）技术获得了飞速发 环形结构的尺寸超过某一临界值时，结构就会出现 ,2,F 展，在各行各业得到了广泛应用，在其基础上制作的 屈曲变形，由该临界状态下的结构尺寸就可以推出 各种微结构、微器件或微系统具有体积小、成本和功 结构内部的残余应力大小) 然而，这两种结构阵列都 耗低、性能稳定、可单片集成等一系列显著优点) 薄 只能用于单一状态的残余应力检测，如微梁阵列只 膜材料和结构因其优 良的机械、光学和电磁性 能用于压应力，而环形结构阵列则只能用于拉应力) ［— ］ 能$ . 成为制作微传感器和微致动器的首选 然而， 因此，如果事先不知道结构内部的应力状态，则需要 ) 随着器件尺寸的缩小，其材料属性表现出与宏观的 同时设计这两种应力测试结构阵列，从而极大占用