不同磁场组态的cr磁控溅射等离子体的诊断与分析-材料学专业论文.docxVIP

摘 要 摘 要 论 文 题 目: 不 同磁 场 组 态 的 C r 磁 控 溅 射 等 离 子 体 的诊 断 与 分 析 学 科 专 业 : 材 料 学 研 究 生 : 曹 政 签 名 指 导 教 师 : 蒋 百 灵 教 授 签 名 摘 要 本 文 采 用 L an gfn ui r 探 针 诊 断 并 表 征 了三 种 等 离 子 体 参 数 (离 子 密 度 、 电子 密 度 和 电 子 温 度 ) 在 不 同磁 场 组 态 (不 同非 平 衡 度 及 不 同 闭合 状 态 ) 条 件 下 在 放 电空 间 内 的 分 布 规 律 。比较 了离 子 密 度 分 布 与 镀 层 厚 度 (径 向 ) 分 布 的对 应 关 系 ，研 究 了不 同 非 平 衡 度 和 不 同 闭合 状 态 的磁 场 对 等 离 子 体 分 布 规 律 的 影 响 差 异 及 其 原 因 ，分 析 了 由磁 场 参 量 改 变 而 引 起 的 等 离 子 体 分 布 差 异 对 C r 镀 层 微 观 形 貌 的 影 响 。 研 究 结 果 表 明 : 对 于 单 一 非 平 衡 磁 控 管 放 电 时 (K 为 4. 46 ) ，x 为 om m 处 ( 正 对 靶 材 表 面 中心 ) 的等 离 子 体 密 度 沿 靶 基 距 方 向逐 渐 降低 (离 子 密 度 由 r 为 3Om m 处 的 7. 41 x 10 ，“/m 3 降至 : 为 Z lom m 处 的 3.4 l x 一。，“/m 3; 电子 密 度 由 : 为 30m m 处 的 2 .ss x lo ’6/ m 3 降 至 : 为 2 10m m 处 的 1.09 x l0 ，“/m 3) ， 与 该 处 镀 层 厚 度 沿 该 方 向 的 变 化 规 律 相 似 。 不 同 非 平 衡 度 磁 控 管 的 放 电等 离 子 体 参 数 在 距 离 靶 材 表 面 较 近 区 域 有 明 显 差 异 (K 为 2 .78 时 等 离 子 体 密 度 比 K 为 6. 41 时 更 大 ) ，尤 其 在 x 为 ZI .sm m 处 (靶 材 表 面 刻 蚀 槽 最 深 位 置 ) 的 3 0~ 至 70m m 间 更 为 明 显 (K 为 2. 78 时 该 测 量 区 间 的 离 子 密 度 为 8. 79 x 10 ’“/m 3一4 .19 x 10 ’“加 ，，电子 密 度 为 2 .g s x lo ’6/ m 3一l.zZ x lo ’“/m ，，电 子 温 度 为 5 .64 ev 一2 .4 4 ev ; K 为 6 .4 1 时 该 测 量 区 间 的 离 子 密 度 为 4 .06 x 10 ’“/m 气4 .0 5 火 10 ’“/m 3， 电 子 密 度 为 9 .5 1 x 10 ”/m 气6 .7 5 x lo ’s/ m 3， 电子 温 度 为 1.22ev 一1.03ev ) ，这 使 c : 镀 层 表 面 形 貌 在 靶 基 距 较 近 处 差 异 明 显 而 在 靶 基 距 较 远 处 差 异 微 弱 。距 离 靶 材 表 面 较 近 处 (60 rnrn ) 的 试 样 因 能 受 到 高 密 度 离 子 轰 击 而 产 生 的 基 片 温 升 ，可 促 进 沉 积 粒 子 的 扩 散 ，利 于 镀 层 表 面 晶 粒 融 合 、长 大 ，提 高 镀 层 表 面 致 密 性 ，过 高 的 离 子 密 度 (K 为 2. 78 时 ) 则 会 因 热 应 力 而 降 低 镀 层 表 面 的 致 密 性 ; 但 从 单 一 非 平 衡 磁 控 管 条 件 下 制 备 的 镀 层 截 面 观 察 其 皆为 柱 状 生 长 ，说 明 离 子 轰 击 提 供 的 基 片 温 升 对 于 沉 积 粒 子 克 服 “阴 影 效 应 ”仍 显 不 足 。磁 场 闭合 状 态 时 可 以 比磁 场 不 闭 合 状 态 更 显 著 地 提 高 真 空 腔 内等 离 子 体 密 度 ，并 使 之 在 轴 向各 测 量 点 (d 分 别 为 om m 、4 0~ 、 80 m m 、 12 0m m 、 160~ ) 均 沿 靶 基 距 方 向逐 渐 增 大 ( 160 m m 处 例 外 ) ，但 仍 与 厚 度 沿 该 方 向 的 变 化 规 律 相 反 ( 如 d 为 om m ，离 子 密 度 在 : 为 70m m 至 2 0 5m m 之 lbJ 由 3 .O4 x 10 ’“/m 3 增 至 l.o g x lo ’7/m