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基于微纳结构与金属纳米层的颜色调控技术研究 陈礼诚 张冬仙 章海军 王旭龙琦 Colortuningbasedonmicro-nanostructureandmetalnanolayer ChenLi-Cheng ZhangDong-Xian ZhangHai-Jun WangXu-Long-Qi 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,038102(2015) DOI: 10.7498/aps.64.038102 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.64.038102 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2015/V64/I3 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyoumaybeinterestedin 锥形光纤激发盘腔光学模式互易性研究 Opticalmodelraciprocityof diskresonatorexcitatedbytapered fiber 物理学报.2014,63(22): 227802 /10.7498/aps.63.227802 基于表面等离子激元的超薄金属减色滤波器的研究 Ultrathinmetallicsubtractivecolorfiltersbasedonsurface plasmon primitives 物理学报.2014,63(20): 207801 /10.7498/aps.63.207801 周期结构薄膜在折射率色散下反射区特性研究 Propertiesofreflectingregionofperiodic-structuredthin film with refractive index dispersion 物理学报.2014,63(1): 017801 /10.7498/aps.63.017801 SiO 薄膜内部短程有序微结构研究 Studyoninternalshort-rangeordermicrostructurecharacteristic of SiO thinfilm 物理学报.2013,62(18): 187801 /10.7498/aps.62.187801 热原子层沉积氧化铝对硅的钝化性能及热稳定性 Passivationandstabilityofthermalatomiclayerdeposited Al O onCZ-Si 物理学报.2012,61(24): 248102 /10.7498/aps.61.248102 物理 学报 Acta Phys. Sin. Vol. 64, No. 3 (2015) 038102 基于微纳结构与金属纳米层的颜色调控技术研究 陈礼诚 张冬仙 章海军 王旭龙琦 (浙江大学光电信息工程学系, 现代光学仪器国家重点实验室, 杭州 310027) ( 2014 年8 月4 日收到; 2014 年9 月17 日收到修改稿) 本文提出一种基于微纳结构及金属纳米层的颜色调控方法. 通过理论分析研究, 建立了基于多孔氧化铝 (PA) 微纳结构与金属纳米层的颜色调控物理模型. 以此为基础, 在孔深分别为250 nm 和410 nm 的PA 模板 表面磁控溅射铝(Al) 金属纳米层, 对其反射干涉光谱分析可知, 通过控制PA 模板的孔深可实现可见光谱范 围内的颜色调控. 此外, 基于掩膜在孔深为410 nm 的PA 模板表面局域溅射铬(Cr) 金属纳米层, 通过对其反 射干涉光谱分析并与相同孔深的镀Al 金属纳米层的PA 颜色进行对比, 可以发现改变金属纳米层的材料和厚 度同样可以实现颜色调控, 并通过局域颜色调控制备出彩色图案. 研究结果表明, 基于微纳结构及金属纳米 层的颜色调控是一种切实可行和有效的方法. 关键词: 微纳结构, 金属纳米层, 颜色调控, 多孔氧化铝 PACS: 81.40.Tv, 78.20.–e, 42.25.Bs DOI: 1