基于扫描激光差动技术的圆度误差检测.pdf

第４８卷　 第３期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４８，Ｎｏ．３ 　 ２０１８年３月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｍａｒｃｈ，２０１８ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１８）０３０３６９０５ ·光电技术与系统· 基于扫描激光差动技术的圆度误差检测 １ ２ ３ １ 刘　珊 ，刘　莉 ，刘　强 ，赵保亚 （１北华航天工业学院机电工程学院，河北 廊坊０６５０００； ２北华航天工业学院电子与控制学院，河北 廊坊０６５０００；３廊坊中建机械有限公司，河北 廊坊０６５０００） 摘　要：为了提高回转体圆度误差测量精度，基于差动技术，并利用小波变换过滤算法及圆度 误差最小二乘法模型，提出一种基于扫描激光差动技术的圆度误差检测系统。采用分光镜分 束的方法，形成两束光强调制信号，从原理上消除偏心误差的影响。通过对一标定零件进行圆 度误差测量实验，设定不同的实验条件，偏心量分别为２～４ｍｍ，５～７ｍｍ、８～９ｍｍ，所测得圆 度误差值相差不超过０６２ ｍ。表明测量系统可以有效消除偏心误差，完成对回转体零件圆 μ 度误差的检测。解决了目前圆度误差检测中回转轴偏心量误差消除难度大、测量效率低等问 题，为高精度检测提供了一种新思路。 关键词：激光差动；圆度误差；偏心量；小波变换算法 中图分类号：Ｏ４３５　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１８．０３．０１８ Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎｏｆｒｏｕｎｄｎｅｓｓｅｒｒｏｒｂａｓｅｄｏｎｓｃａｎｎｉｎｇｌａｓｅｒ ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌｔｅｃｈｎｉｑｕｅ １ ２ ３ １ ＬＩＵＳｈａｎ，ＬＩＵＬｉ，ＬＩＵＱｉａｎｇ，ＺＨＡＯＢａｏｙａ （１Ｓｃｈｏｏｌｏｆｍｅｃｈａｎｉｃａｌａｎｄｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＮｏｒｔｈＣｈｉｎａＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＡｅｒｏｓｐａｃｅＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ， Ｌａｎｇｆａｎｇ０６５０００，Ｃｈｉｎａ；２Ｓｃｈｏｏｌｏｆｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓａｎｄｃｏｎｔｒｏｌ，ＮｏｒｔｈＣｈｉｎａＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＡｅｒｏｓｐａｃｅＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ， Ｌａｎｇｆａｎｇ０６５０００，Ｃｈｉｎａ；３ＬａｎｇｆａｎｇＺｈｏｎｇｊｉａｎＭａｃｈｉｎｅｒｙＣｏ，Ｌｔｄ，Ｌａｎｇｆａｎｇ０６５０００，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅｍｅａｓｕｒｉｎｇａｃｃｕｒａｃｙｏｆｒｏｕｎｄｎｅｓｓｅｒｒｏｒｏｆｒｏｔａｔｉｏｎａｌｐａｒｔｓ，ａｃｃｏｒｄｉｎｇｔｏｗａｖｅｌｅｔｔｒａｎｓ ｆｏｒｍｆｉｌｔｅｒｉｎｇａｌｇｏｒｉｔｈｍａｎｄｔｈｅｌｅａｓｔｓｑｕａｒｅｓｍｏｄｅｌ，ａｒｏｕｎｄｎｅｓｓｅｒｒｏｒｄｅｔｅｃｔｉｏｎｓｙｓｔｅｍｂａｓｅｄｏｎｓｃａｎｎｉｎｇｌａｓｅｒｄｉｆｆｅｒ ｅｎｔｉａｌｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｗｅｒｅｐｒｏｐｏｓｅｄＴｗｏｌｉｇｈｔｂｅａｍｓｗｉｔｈｉｎｔｅｎｓｉｔｙｍｏｄｕｌａｔｉｏｎｓｉｇｎａｌｓｗｅｒｅｆｏｒｍｅｄｂｙａｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｅ，ａｎｄ ｔｈｅｉｎｆｌｕｅｎｃｅｏｆｅｃｃｅｎｔｒｉｃｉｔｙｅｒｒｏｒｉｓｅｌｉｍｉｎａｔｅｄｉｎｐｒｉｎｃｉｐｌｅＴｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆｔｈｅｒｏｕｎｄｎｅｓｓｅｒｒｏｒｗａｓｃａｒｒｉｅｄｏｕｔ ｆｏｒａｃａｌｉｂｒ