超精密渐开线齿形的测量方法.pdfVIP

第 卷 第 期 光 工程 １４ ６ 　 Ｖｏｌ．１４ Ｎｏ．６ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００６ １２ Ｄｅｃ．２００６ 　　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００６０６０９８００６ 　 超精密渐开线齿形的测量方法 ， ， １２ １ １２ １ ３ 王立鼎 ，娄志峰 ，王晓东 ，马 勇 ，张玉玲 　 （ 大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁 大连 ； １． １１６０２３ ２．大连理工大学 微纳米技术及系统辽宁省重点实验室，辽宁 大连 １１６０２３； ３．中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 １３００３３） 摘要：分析了双基圆盘式渐开线测量仪的测量原理，其具有结构简单、测量过程中无测头位置引起的阿贝误差等特点。 该仪器采用交叉弹簧片的铰链结构作为误差传递杠杆，其灵敏度高、无间隙。经过对仪器的主要测量误差源进行补偿 后，其系统的测量不确定度（ ） ，测量精度可以满足 级渐开线齿形的测量要求。通过与其它渐开线齿形 Ｕ９５ ＜±０．５ ｍ １ μ 测量方法的比较，双基圆盘式渐开线测量仪仅在测量自动化和多功能性等方面不如 ＣＮＣ齿形量仪，其在测量精度与制 造经济性等方面更具优势，是超精密渐开线齿形测量的理想方法。 关 键 词：精密齿轮；渐开线齿形；测量原理；双盘式测量仪 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＨ１３２．４１３ Ａ 　　 犕犲犪狊狌狉犻狀 犿犲狋犺狅犱狊狅犳狌犾狋狉犪狉犲犮犻狊犻狅狀犻狀狏狅犾狌狋犲狋狅狅狋犺 狉狅犳犻犾犲 犵 狆 狆 ， ， １ ２ １ １ ２ １ ３ ， ， ， ， ＷＡＮＧＬｉｄｉｎ ＬＯＵＺｈｉｆｅｎ ＷＡＮＧＸｉａｏｄｏｎ ＭＡＹｏｎ ＺＨＡＮＧＹｕｌｉｎ ｇ ｇ ｇ ｇ ｇ （