超精密光学镜片三维表面形貌参数评定方法研究.pdfVIP

第３８卷　第４期 计　　　 量　　　学　　　报 　 Ｖｏｌ．３８，№４ ２０１７年　７月 ＡＣＴＡ　ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ　ＳＩＮＩＣＡ 　 Ｊｕｌｙ，２０１７ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１７．０４．０６ 超精密光学镜片三维表面形貌参数评定方法研究 １ １ １ １ ２ 吴乙万 ，　任志英 ，　高诚辉 ，　林建兴 ，　江　伟 （１福州大学 机械工程及自动化学院，福建 福州３５０１１６；　２福建省福光股份有限公司，福建 福州３５０００４） 摘要：分析了当前超精密光学镜片表面评定方法及其存在的不足，提出引用ＩＳＯ２５１７８２中规范的部分表面 ３Ｄ参数来表征精密光学镜片三维表面，找出光学镜片表面形貌与对应的光学性能存在的关系，并实现ＩＳＯ对超精 密光学镜片三维表面的评定。仿真实验表明：当光学镜片表面的高度服从高斯分布时，其评价光学系统性能的传 递函数随着均方值的减小而增大。用实例说明ＩＳＯ的部分三维参数对光学镜片三维表面可以很好地区分，利用新 的综合评价方法评定光学镜片表面形貌具有一定的可行性。 关键词：计量学；光学镜片；三维表面形貌；参数评定；ＩＳＯ２５１７８２；传递函数 中图分类号：ＴＢ９６　　　　文献标识码：Ａ　　　　文章编号：１０００１１５８（２０１７）０４０４１００６ Ｓｔｕｄｙｏｎ３ＤＳｕｒｆａｃｅＰａｒａｍｅｔｅｒＥｖａｌｕａｔｉｏｎＭｅｔｈｏｄｏｆ ＵｌｔｒａＰｒｅｃｉｓｉｏｎＯｐｔｉｃａｌＬｅｎｓｅｓ １ １ １ １ ２ ＷＵＹｉｗａｎ，　ＲＥＮＺｈｉｙｉｎｇ，　ＧＡＯＣｈｅｎｇｈｕｉ，　ＬＩＮＪｉａｎｘｉｎｇ，　ＪＩＡＮＧＷｅｉ （１ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇａｎｄＡｕｔｏｍａｔｉｏｎ，ＦｕｚｈｏｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｆｕｚｈｏｕ，Ｆｕｊｉａｎ３５０１１６，Ｃｈｉｎａ； ２ＦｕｊｉａｎＦｕＧｕａｎｇＬｉｍｉｔｅｄｂｙＳｈａｒｅＬｔｄ，Ｆｕｚｈｏｕ，Ｆｕｊｉａｎ３５０００４，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｓｈｏｒｔｃｏｍｉｎｇｓｏｆｃｕｒｒｅｎｔｕｌｔｒａｐｒｅｃｉｓｉｏｎｏｐｔｉｃａｌｌｅｎｓｓｕｒｆａｃｅａｓｓｅｓｓｍｅｎｔｍｅｔｈｏｄｓｉｓａｎａｌｙｓｅｄ．Ｔｈｅ ｅｘｉｓｔｉｎｇｏｐｔｉｃａｌｅｌｅｍｅｎｔｓｓｕｒｆａｃｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｓｉｓｅｍｂａｒｋｅｄ，ｃｏｍｂｉｎｉｎｇｗｉｔｈｔｈｅｔｈｒｅｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｓｕｒｆａｃｅ ｐａｒａｍｅｔｅｒｓｉｎｔｈｅＩＳＯ２５１７８２．Ｔｈｅｒｅｌａｔｉｏｎｓｈｉｐｂｅｔｗｅｅｎｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｔｏｐｏｇｒａｐｈｙｏｆｏｐｔｉｃａｌｌｅｎｓａｎｄｔｈｅｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇ ｏｐｔｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｉｓｆｏｕｎｄｏｕｔ．Ｔｈｅｅｖａｌｕａｔｉｏｎｏｆｔｈｅ３ＤｓｕｒｆａｃｅｏｆｕｌｔｒａｐｒｅｃｉｓｉｏｎｏｐｔｉｃａｌｌｅｎｓｅｓｕｓｉｎｇｔｈｅｓｔａｎｄａｒｄＩＳＯｉｓ ｒｅａｌｉｚｅｄ．ＴｈｅｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｗｈｅｎｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｏｆｔｈｅｏｐｔｉｃａｌｌｅｎｓｉｓｈｉｇｈｌｙｓｕｂｊｅｃｔｅｆｔｏＧａｕｓｓｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ，ｔｈｅ ｔｒａｎｓｆｅｒｆｕｎｃｔｉｏｎｏｆｔｈｅｏｐｔｉｃａｌｓｙｓｔｅｍｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｉｓｅｖａｌｕａｔｅｄｗｉｔｈｔｈｅｄｅｃｒｅａｓｅｏｆｔｈｅｍｅａｎｓｑｕａｒｅｖａｌｕｅ．Ａｎｄｔｈｅ ｅｘａｍｐｌｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｃａｎａｌｓｏｂｅｗｅｌｌｄｉｓｔｉｎｇｕｉｓｈｅｄｂｙｔｈｅｔｈｒｅｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａ