共振腔增强型光电探测器3.PDFVIP

共振腔增强型光电探测器 傅 　竹 　西 ( 中国科学技术大学物理系　合肥　230026) 摘 　要 　　共振腔增强型光电探测器是近十年发展起来的新型探测器. 它是在探测器内制备微共振腔 并在中间插入激活层构成的. 在这种结构中 , 由于共振腔对非共振波长的抑制及对共振光场的放大作 用 ,使探测器的量子效率在共振波长处被增强 ,带宽 - 量子效率之积比传统的光电二极管提高了近 3 倍. 由于它同时具备对波长的选择作用和高频响应特性,因而是光通信理想的探测器件. 关键词 　　共振腔增强型光电探测器 RESONANT CAVITY ENHANCED PHOTODETECTORS Fu Zhuxi ( Depart ment of Physics , U niversity of Science and Technology of Chi na , Hef ei 　230026) Abstract 　　Resonant - cavity - enhanced ( RCE) photodetectors are a new type of detectors devel oped over the past decade. The performance of these devices is enhanced by placing the active layer structure inside a Fabry - Perot resonant microcavity. In such a structure , the quantum efficiency of the detector at the resonant wavelength is markedly enhanced due to rejection of the off - resonance wavelengths and amplification of the resonant optical field. The bandwidth - efficiency product can be almost three times greater than that of conventional photodiodes. Both wavelength selectivity and high - speed response make RCE detectors ideal for optical communications. Key words 　　resonant - cavity - enhanced photodetector 　　 子效率 η,它是衡量光电探测器性能的重要指 标. 在传统的光电探测器中, 量子效率随探测器 1 　半导体光电探测器的工作原理和主 中对入射光的吸收层厚度 d 和吸收系数 α的 要性能 增加而增加. 因为光生载流子只有在进入外电路后才可 　　光电探测器是将入射光信号转变为电信号 能成为光电流, 而在进入外电路之前有可能由 ( ) 的器件. 在半导体光电探测器中 ,入射光子激发 于载流子 电子和空穴 的复合而湮灭, 也可能 出的光生载流子在外加偏压作用下进入外电路 由于碰撞离化而增加, 所以