空心阴极放电特性的分析等离子体物理专业论文.docxVIP

优秀毕业论文 精品参考文献资料 东 东 华 人学 硕 士 毕 业 论 文 和 电压 数 据 ，分 别 在 热 平 衡 状 态 和 非 热 平 衡 状 态 模 型 下 进 行 推 断 ， 得 到 了 空 心 阴 极 放 电等 离 子 体 中 电子 能 量 的 分 布 函 数 以及 电 子 温 度 和 电子 密 度 的 数 值 ，并 且 探 讨 了它 们 随 放 电 电 压 和 气 压 的 变 化 关 系 。 结 果 发 现 两 种 假 设 所 得 结 果 虽 然 在 数 值 上 有 所 差 异 ， 但 是 它 们 的 变 化 趋 势 却 是 相 似 的 ; 且 经 分 析 发 现 电 子 密 度 的 大 小 随 电源 电压 和 气 压 的 增 大 而 增 大 ，而 电子 温 度 却 并 非 随 电源 电压 的 增 大 而 呈 单 调 性 变 化 。 发 射 光 谱 诊 断 法 作 为 一 种 原 位 、实 时 、在 线 、对 体 系 无 扰 动 和 时 空 分 辨 性 能 良好 的 诊 断 方 法 ， 不 仅 可 以分 析 出特 定 气 体 空 心 阴 极 放 电等 离 子 体 中 的 粒 子 种 类 ，亦 可 定 性 的 得 到 等 离 子 体 中 电子 温 度 的 大 小 。通 过 比较 不 同放 电 电 压 和 气 压 条 件 下 特 定 谱 线 强 度 的 变 化 规 律 ，亦 可 以得 到 等 离 子 体 中相 应 粒 子 的 反 应 状 态 。本 文 通 过 发 射 光 谱 诊 断 法 对 氮 气 空 心 阴 极 放 电状 态 进 行 了研 究 ， 发 现 氮 气 空 心 阴 极 放 电等 离 子 体 中 存 在 能 量 大 于 10e V 的 高 能 电子 。由于 空 心 阴 极 端 口 处 等 离 子 体 发 光 最 强 烈 ， 故 可 以 认 为 发 射 光 谱 诊 断 法 所 探 测 的 主 要 区 域 在 这 端 口处 ， 即 等 离 子 体 的 中 心 区 域 ，这 样 所 得 结 果 与 数 值 模 拟 结 果 相 对 应 。 以 上 结 果 在 空 心 阴 极 放 电 应 用 于 硬 质 薄 膜 制 备 和 显 示 器 件 的 研 究 等 方 面 具 有 现 实 的 参 考 价 值 。 关键 词 : 空 心 阴 极 放 电 ，流 体 模 型 ， 朗 缪 尔 探 针 诊 断 ，发 射 光 谱 诊 断 ，等 离 子 体 摘 要A 摘 要 A N IN V E S T IG A T IO N F O R T H E C H A R A C T E R I S T IC S O F H O L L O W C A T H O D E D I S C H A R G E AB S T RA C T H o llo w e ath o d e d iseh a rg e 15 a v e ry e sP e e ia l d ise h a rg e ty P e w h ie h 15 d iffe re n t fro m n o rm a l a n d a b n o rm a l g lo w d is c h a rg e a n d n a m e d a fte r its s P e e ific e ath o d e c o n fig u rat io n . T h e ap P lic a tio n o f th e d is c h a rg e in film P ro d u e tio n ，illu m in a tio n a n d d isP lay ap P a ratu s 15 e x te n s iv e b e e a u s e o f its s P e e ia l e h a ra e te ristie s . In th is th e s is ，s o m e e h a ra e te ristie s o f h o llo w e ath o d e d is e h a rg e ar e in v e stig ate d b y m e a n s o f flu id m o d e lin g ， L a n g m u ir P ro b e d ia g n o s is a n d e te . N u m e rie a l s im u lat io n te e h n iq u e a s a n e ffe e tiv e m e th o d fo r th e re s e ar e h o f